[发明专利]使用流体缸的促动器及其控制方法

权利要求书

1.一种使用流体缸的促动器，其使用具有两个腔室的流体缸，所述使用流体缸的促动器的特征是，

设定所述腔室的排出阀机构的阀的开度，使其与所述腔室内的目标压力成反比例的关系。

2.根据权利要求1所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

所述排出阀机构具有并联连接且排出流路的截面面积不同的多种开关阀，该排出阀机构被构成为，根据所述目标压力，选择一个或多个所述开关阀，将排出开度的总和调节至最佳。

3.根据权利要求1所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

所述排出阀机构具有并联连接且排出流路的截面面积不同的多种开关阀，一个所述开关阀的排出流路的截面面积具有最小截面面积，其余所述开关阀分别具有用基数为大于1的数值的乘方乘以所述最小截面面积所得的截面面积。

4.根据权利要求2所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

所述多种开关阀中的一个所述开关阀的排出流路的截面面积具有最小截面面积，其余所述开关阀分别具有用基数为大于1的数值的乘方乘以所述最小截面面积所得的截面面积。

5.根据权利要求3或4所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

大于所述1的数值为2。

6.根据权利要求1所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

所述流体缸具有缸室和活塞，该活塞滑动自如地配置在所述缸室内并将所述缸室分隔为第一腔室与第二腔室，

所述使用流体缸的促动器还包括：

配置在流体压力源与所述第一腔室之间、调节所述第一腔室内的流体压力的第一节流阀装置；以及

配置在所述流体压力源与所述第二腔室之间、调节所述第二腔室内的流体压力的第二节流阀装置，

所述第一节流阀装置及所述第二节流阀装置分别具有：

供给阀机构，其允许流体在从所述流体压力源侧向对应的所述腔室侧的进入方向上流动并可遥控操作；

排出阀机构，其允许所述流体在从所述腔室侧向大气或低压源侧的流出方向上流动并可遥控操作；以及

阀机构控制装置，其控制所述供给阀机构和所述排出阀机构的开闭，并设定所述可遥控操作的排出阀机构的阀的开度，

所述可遥控操作的排出阀机构是所述排出阀机构，

所述阀机构控制装置设定所述阀的开度，使由所述节流阀装置调节压力的所述腔室内的目标压力与所述排出阀机构的所述阀的开度成反比例的关系。

7.根据权利要求6所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

所述排出阀机构具有并联连接且排出流路的截面面积不同的多种开关阀，

所述阀机构控制装置根据所述目标压力，选择一个或多个所述开关阀以设定所希望的所述开度。

8.根据权利要求7所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

所述排出阀机构具有并联连接且排出流路的截面面积不同的多种开关阀，一个所述开关阀的排出流路的截面面积具有最小截面面积，其余所述开关阀分别具有用基数为大于1的数值的乘方乘以所述最小截面面积所得的截面面积。

9.根据权利要求6所述的使用流体缸的促动器，其特征是，

还包括测量所述腔室内的实际压力的压力测量装置，

所述阀机构控制装置被构成为，输出用于控制所述供给阀机构和所述排出阀机构的开闭的控制指令以及设定所述排出阀机构的阀的开度的开度设定指令，

所述阀机构控制装置被构成为，输出设定所述阀的开度的所述开度设定指令，使由所述节流阀装置调节压力的所述腔室内的目标压力与所述排出阀机构的所述阀的开度成反比例的关系，当所述目标压力小于所述实际压力时，输出打开所述排出阀机构的所述阀的所述控制指令，当所述目标压力达到所述实际压力时，输出关闭所述排出阀机构的所述阀的所述控制指令。

10.根据权利要求9所述的使用流体缸的促动器，其特征是，所述排出阀机构具有：

并联连接且排出流路的截面面积不同的多种开关阀；以及

阀选择控制装置，其根据所述开度设定指令，在排出时，从所述多种开关阀中选择其组合使所述排出流路的截面面积的总和最接近目标截面面积的所述开关阀，当输入所述控制指令时，将所选择的所述开关阀置于打开状态。