[发明专利]压电振荡元件及使用该压电振荡元件的压电振动部件

说明书

技术领域

本发明涉及内置负荷电容的、小型且高性能的压电振荡元件及使用其的压电振动部件。

背景技术

目前，在通信设备及电子设备中微型计算机正在被广泛应用，作为这种微型计算机的时钟脉冲源，内置负荷电容的压电振荡元件被注目。该压电振荡元件具有在压电振荡元件的输入端及输出端和接地电位之间连接有负荷电容的结构。

作为这种压电振荡元件，有在压电衬底的同一主面上形成振动电极和电容电极，且在振动电极和电容电极之间形成电容的振荡元件(例如，参照专利文献1)。所述电容电极与设置于压电衬底的侧面的接地电极连接。

通过设计成这种结构，不需要积层设置用于形成电容的电容器衬底，从而，可使压电振荡元件薄型化。

专利文献1：日本特开平3-52312号公报

但是，在上述的现有压电振荡元件中，由于在形成于压电衬底的同一主面上的振动电极和电容电极之间形成电容，因此，产生厚度振动的区域和产生电容的区域接近。

因此，产生电容的区域的电场可能给产生压电衬底的厚度振动的区域的电场带来影响，使厚度振动被抑制而使共振特性劣化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种压电振荡元件及使用其的压电振动部件，其在内置负荷电容的压电振荡元件中，厚度振动的共振特性优良，并且抑制了不需要的振动的产生，小型且薄型。

本发明的压电振荡元件具有：压电衬底、形成于所述压电衬底的一主面的第一导体膜、形成于所述压电衬底的另一主面的第二导体膜、形成于所述压电衬底的侧面的接地端子，在所述第一、第二导体膜和所述接地端子之间分别形成有规定的电容。

根据该结构，在形成于压电衬底的一主面的第一导体膜和形成于侧面的接地端子之间形成电容(キャパシタンス)，在形成于压电衬底的另一主面的第二导体膜和形成于侧面的接地端子之间形成电容。由此，假定电极的最接近的端部彼此的间隙相等的情况，与同一主面上的电极彼此接近配置而形成电容的情况相比，能够形成更大的电容。另外，因为第一、第二导体膜和接地端子不夹着压电衬底而面对置，因此，在它们之间几乎不会激发厚度振动。因而，不会给产生于第一、第二导体膜之间的所希望的振动带来不良影响，从而，不会损害振动的稳定性。

另外，本发明的压电振荡元件在压电衬底的侧面以夹着所述接地端子的方式形成第一、第二输入输出端子，且将第一导体膜和第一输入输出端子、及第二导体膜和第二输入输出端子连接。

因而，可在第一、第二输入输出端子和接地端子之间产生电容，有效地形成振荡所需要的负荷电容。

再者，本发明的压电振荡元件具有如下结构，即，所述第一导体膜具有第一振动电极和第一电容电极，所述第二导体膜具有第二振动电极和第二电容电极，所述第一、第二振动电极经由所述压电衬底相互对置。

由此，能够在所述第一、第二振动电极相互对置的区域产生厚度振动，并且，能够在离开振动区域的地方在电容电极和接地端子之间形成电容，能够有效地防止如下问题：在电容电极和接地端子之间形成的电场抑制振动区域中的所希望的厚度振动，从而使共振特性劣化。

也可以在位于所述第一、第二电容电极和所述接地端子之间的所述压电衬底上粘附绝缘体。能够有效地防止在所述第一、第二电容电极和所述接地端子之间产生电短路。由此，可使所述第一、第二电容电极和所述接地端子的间隔变窄，可形成大的电容。

在本发明的压电振荡元件中，理想的是在经由所述压电衬底与所述第一电容电极对置的区域不形成电极，并且，在经由所述压电衬底与所述第二电容电极对置的区域不形成电极。即，电容电极不具有经由压电衬底而对置的电极。

因此，对置区域的中心部最大地振动，越离开对置区域靠近外侧，振动越小。在离开对置区域的区域由电容电极和接地电极形成电容，因此即使在该离开的区域产生电场，其也不会抑制对置区域中的厚度振动。

也可以采用如下结构，即，在经由所述压电衬底与所述第一电容电极对置的区域形成第一辅助电容电极，在经由所述压电衬底与所述第二电容电极对置的区域形成第二辅助电极。由此，在第一、第二电容电极和接地电极之间可形成更大的电容。

另外，在这种情况下，第一辅助电容电极和第一电容电极的电位基本上无异，第二辅助电容电极和第二电容电极的电位基本上无异。若形成为这种无异的电位，则在第一辅助电容电极和第一电容电极之间不产生电场，在第二辅助电容电极和第二电容电极之间不产生电场。因而，不会抑制产生于所述第一、第二振动电极相互对置的区域的厚度振动。