[发明专利]压电振荡元件及使用该压电振荡元件的压电振动部件

权利要求书

1.一种压电振荡元件，其具有：

压电衬底、

形成于所述压电衬底的一主面的第一导体膜、

形成于所述压电衬底的另一主面的第二导体膜、

形成于所述压电衬底的侧面的接地端子，

在所述第一、第二导体膜和所述接地端子之间分别形成有规定的电容。

2.如权利要求1所述的压电振荡元件，其中，还具备第一、第二输入输出端子，

所述第一、第二输入输出端子在所述压电衬底的侧面形成于夹着所述接地端子的位置，

所述第一导体膜和所述第一输入输出端子连接，并且所述第二导体膜和所述第二输入输出端子连接。

3.如权利要求1所述的压电振荡元件，其中，所述第一导体膜具有第一振动电极和第一电容电极，所述第二导体膜具有第二振动电极和第二电容电极，所述第一、第二振动电极经由所述压电衬底相互对置。

4.如权利要求3所述的压电振荡元件，其中，在经由所述压电衬底与所述第一电容电极对置的区域不形成电极，并且，在经由所述压电衬底与所述第二电容电极对置的区域不形成电极。

5.如权利要求3所述的压电振荡元件，其中，在位于所述第一、第二电容电极和所述接地端子之间的所述压电衬底上粘附有绝缘体。

6.如权利要求3所述的压电振荡元件，其中，在经由所述压电衬底与所述第一电容电极对置的区域形成有电位与所述第一电容电极无异的第一辅助电容电极，

在经由所述压电衬底与所述第二电容电极对置的区域形成有电位与所述第二电容电极无异的第二辅助电容电极。

7.如权利要求6所述的压电振荡元件，其中，在位于所述第一、第二电容电极和所述接地端子之间的所述压电衬底上粘附有绝缘体，

在位于所述第一、第二辅助电容电极和所述接地端子之间的所述压电衬底上粘附有绝缘体。

8.如权利要求1所述的压电振荡元件，其中，所述接地端子由具有导电性的弹性体构成。

9.如权利要求1所述的压电振荡元件，其中，还具有被覆所述第一导体膜的一部分的第一电介质层、和被覆所述第二导体膜的一部分的第二电介质层，

所述接地端子与经由所述第一电介质层与所述第一导体膜对置的第一接地电极、和经由所述第二电介质层与所述第二导体膜对置的第二接地电极连接。

10.如权利要求9所述的压电振荡元件，其中，所述第一导体膜具有第一振动电极和第一电容电极，所述第二导体膜具有第二振动电极和第二电容电极，所述第一、第二振动电极经由所述压电衬底相互对置。

11.如权利要求10所述的压电振荡元件，其中，所述第一电介质层被覆所述第一电容电极的一部分，所述第二电介质层被覆所述第二电容电极的一部分。

12.如权利要求10所述的压电振荡元件，其中，在所述压电衬底的一主面的、所述第一电容电极和所述压电衬底的侧端部之间，形成有与接地端子连接的第一辅助接地电极，

在所述压电衬底的另一主面的、所述第二电容电极和压电衬底的侧端部之间，形成有与接地端子连接的第二辅助接地电极。

13.如权利要求9所述的压电振荡元件，其中，以被覆所述第一接地电极的至少一部分、及所述第二接地电极的至少一部分的方式粘附有绝缘板。

14.如权利要求13所述的压电振荡元件，其中，所述第一导体膜具有第一振动电极和第一电容电极，所述第二导体膜具有第二振动电极和第二电容电极，

所述绝缘板具有围着所述第一、第二振动电极的开口部。

15.一种压电振荡部件，其具备压电振荡元件和保护衬底，

所述压电振荡元件具有压电衬底、形成于所述压电衬底的一主面的第一导体膜、形成于所述压电衬底的另一主面的第二导体膜、形成于所述压电衬底的侧面的接地端子，在所述第一、第二导体膜和所述接地端子之间分别形成有规定的电容，

所述保护衬底设置于该压电振荡元件的上下。

16.如权利要求15所述的压电振荡部件，其中，所述第一导体膜具有第一振动电极和第一电容电极，所述第二导体膜具有第二振动电极和第二电容电极，

用以围着所述第一、第二振动电极的方式形成有开口部的绝缘板夹着所述压电振荡元件的上下面，经由该绝缘板在所述压电振荡元件的上下面粘附保护衬底。