[发明专利]离子束扫描控制方法和用于均匀注入离子的系统

权利要求书

1.一种用于在离子注入系统中校准离子束扫描器的方法，该方法包括：

在沿扫描方向的多个位置处测量多个初始电流密度值，这些初始电流密度值分别与多个初始电压扫描间隔中的一个对应，并且与对应的多个初始扫描时间值中的一个对应；

基于测量的初始电流密度值和初始扫描时间值来建立线性方程组；以及

对于电压扫描间隔确定一组扫描时间值，所述扫描时间值对应于降低电流密度剖面偏差的线性方程组的解。

2.权利要求1所述的方法，其中在整数m个位置处测量初始电流密度值，其中各个电流密度值与整数n个初始电压扫描间隔中的一个对应，以及其中m大于n。

3.权利要求2所述的方法，其中m个位置和n个初始电压扫描间隔相互不一致。

4.权利要求2所述的方法，其中建立线性方程组包括：

形成所测量的初始电流密度值的矩阵A，该矩阵具有对应于沿着扫描方向的m个位置的m行以及对应于n个初始电压扫描间隔和时间值的n列；

形成包括n个初始扫描时间值的初始时间向量T₀；以及

计算包括m个初始电流密度剖面值的初始剖面向量P₀，其中初始剖面向量P₀＝A*T₀。

5.权利要求4所述的方法，其中确定一组扫描时间值包括：

把剖面平均值P_AVG计算为m个初始剖面值的平均值，其中P_AVG＝(1/m)*(P₀₁+P₀₂+...+P_0m)；

计算包括m个剖面偏差值的剖面偏差向量ΔP，其中ΔP_j＝P_0j-P_AVG，其中j＝1到m；

计算逆矩阵A^-1；

将逆矩阵A^-1与剖面偏差向量ΔP相乘，以获得包括n个扫描时间偏差值的时间偏差解向量ΔT_SOLUTION，其中ΔT_SOLUTION＝A^-1*ΔP；以及

把扫描时间解向量T_SOLUTION计算为时间偏差解向量ΔT_SOLUTION与初始时间向量T₀之和，该扫描时间解向量T_SOLUTION包括与降低电流密度剖面偏差的线性方程组的解对应的该组扫描时间值，其中T_SOLUTION＝ΔT_SOLUTION+T₀。

6.权利要求5所述的方法，其中利用奇异值分解(SVD)来计算逆矩阵A^-1。