[实用新型]高纯硅提纯炉无效
申请号: | 200620147506.6 | 申请日: | 2006-10-22 |
公开(公告)号: | CN200985282Y | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
发明(设计)人: | 黄东;赵晓江;徐岳生;刘彩池;王海云 | 申请(专利权)人: | 黄东;赵晓江;徐岳生 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 乌海市知新专利事务所 | 代理人: | 石玉忠 |
地址: | 016030内蒙古*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高纯 提纯 | ||
1、一种高纯硅提纯炉,其特征在于:它包括炉体、炉架、升降机,坩埚、循环冷却盘、硅钼棒、温度感应器及控制柜;硅钼棒、温度感应器、坩埚、循环冷却盘设置在炉体内。
2、如权利要求1所述的高纯硅提纯炉,其特征在于:所述的控制柜内设智能仪表和晶闸管控制器,与温度感应器、硅热棒、组成PID温度控制系统。
3、如权利要求1所述的高纯硅提纯炉,其特征在于:所述的炉体由双层不锈钢板制成,设有熔硅注入口、观察口、抽真空口、注气口,底部炉门与升降杆相连。
4、如权利要求1所述的高纯硅提纯炉,其特征在于:所述的坩埚置于循环冷却盘内,循环冷却盘设置在升降杆顶部。
5、如权利要求1或2所述的高纯硅提纯炉,其特征在于:所述的控制柜内加热供电电路上设有限流环节。
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