[实用新型]具识别及充气装置的氮气柜

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种具识别及充气装置的氮气柜，尤指一种适用于储存光罩盒、晶圆盒，并具有识别个别盒体、及充填氮气功能的氮气柜。

背景技术

一般的光罩及晶片等半导体物料多数存放于盒体中保存，且为避免上述物料于储存时，受到氧化或污染，因此必须在非氧化性气体的环境中保存。由于半导体物料盒无法完全密闭，一般的晶圆盒在大气环境下储存6小时后，内部氧气的含量即由0％上升至6％左右，因此氮气充填后的晶圆盒储存期间大约只有18～24小时，而光罩盒的储存期间更短，大约只有6小时。因此晶圆盒及光罩盒必须不断的重复充填氮气，方能确保光罩及晶片的盒体中的洁净环境。

现有存放晶圆盒及光罩盒的方式，是将晶圆盒及光罩盒存放于一氮气柜中，通过以延长晶圆盒及光罩盒重复充填氮气的期间。而现有氮气柜是于氮气柜本体组设一气体充气口，再通过由管路连通至一氮气瓶，以便不定时对氮气柜补充氮气。

此外，现有氮气柜仅提供一充满氮气的环境而已，并未具有对晶圆盒或光罩盒充气的功能，因此若要对晶圆盒或光罩盒重复充填氮气，则须开启氮气柜，取出晶圆盒或光罩盒至氮气柜外充气后再放入氮气柜内。每次开启氮气柜，则需再于氮气柜关闭后，重新充气，方能提供一充满氮气的氮气柜，极为浪费资源。

另外，现有氮气柜仅提供存放而已，并任何管理或追踪的功能。而晶圆盒或光罩盒存放于氮气柜中，若数量多，或存放时间过久，常有被遗忘而找不到，或拿错的情形发生，因而造成管理上的问题，影响生产效率。综上，目前现有氮气柜仅具提供一充满氮气环境的功能而已，并非十分理想。

创作人缘因于此，本于积极创作的精神，亟思一种可以解决上述问题的具识别及充气装置的氮气柜，几经研究实验终至完成此项嘉惠世人的本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具识别及充气装置的氮气柜，其包括有：一箱体、至少一架体、多数个物料盒及至少一充气装置。其中，箱体上组设有有一箱门、及一氮气入口，氮气入口并与一氮气供应装置相通。箱体内则组设有至少一架体，架体并将箱体内部区隔出多数个承置格，可供物料盒置放组设。另每一物料盒具有至少一充气口、及一识别组件。且箱体内并组设有至少一充气装置，其并与该氮气入口相通，可用以对氮气柜及每一物料盒充填氮气。

此外，上述的物料盒可为下述至少其一：晶圆盒、及光罩盒，以便可通过由物料盒内的氮气环境保护晶圆或光罩片，使其不易氧化。

另外，上述的箱体内可更包括一控制单元，控制单元内部并具有一键盘、或其它等效的输入装置，以便使操作人员容易作物料盒数据的查询与氮气柜系统的设定、及故障的排除。又控制单元也可更包括有一Rj45、或其它等效的计算机连接端口，以便可与外界计算机连接。当然也可通过由连接埠使多台氮气柜并连使用，以便方便且有效率管理多数个物料盒。且控制单元也可搭配组设于箱门或/及物料盒上的感应器，当箱门或/及物料盒未关闭，控制单元可控制不会对箱门或/及物料盒内部充气。

再者，上述物料盒上的识别组件可为二维条形码、射频识别芯片(Radio Frequency Identification，简称：RFID)、或其它等效识别组件，以便方便物料盒的编号、存放时间、充气时间、氮气压力等数据的读写。

此外，本实用新型更包括一读取器，其是组设于箱体外面，用以读取物料盒上识别组件的数据，以便方便且有效率管理物料盒。

另外，本实用新型更包括一显示器，其是组设于箱体外面，以便用以显示物料盒的编号、存放时间、充气时间、氮气压力、及氮气柜内的压力等资料。

再者，上述的箱体内更包括一离子棒，以便中和箱体内的正、负电，用以清除箱体内的静电。

又，本实用新型更包括一信号灯，是组设于箱体外面，用以显示显示各种操作状态，以便提醒操作人员注意。当然，也可于箱体外面组设一蜂鸣器，以便于特殊状态警告操作人员，如箱体内未排气即要开启箱门，则蜂鸣器会响，信号灯亮红灯，以便提醒操作人员注意。

此外，本实用新型可更包括一箱体压力表、或/及一流量表，是组设于箱体外面，用以显示充填氮气的压力、或/及流量。当然压力表、或/及流量表也可搭配控制单元使用，可设定压力上下限、或/及充气流量、体积，当氮气柜内的压力值低于下限，控制单元则主动开启充气装置，当氮气柜内的压力值高于上限，则主动关闭充气装置或排气。上述的充气、排气可包括一般正常速度的充气、排气或快速充气、快速排气(purge)等不同功能的模式。