[实用新型]具识别及充气装置的氮气柜

权利要求书

1.一种具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于包括：

一箱体，包括有一箱门、及一氮气入口，该氮气入口与一氮气供应装置相通；

至少一架体，组设于该箱体内，该至少一架体并区隔出多数个承置格；

多数个物料盒，每一物料盒是分别组设于每一承置格上，并包括有至少一充气口、及一识别组件；以及

至少一充气装置，组设于该箱体内，并与该氮气入口相通。

2.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一控制单元，组设于该箱体内，用以管理该多数个物料盒。

3.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，所述该物料盒是为下述至少其一：晶圆盒、及光罩盒。

4.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，所述该识别组件是为下述至少其一：二维条形码、及射频识别芯片。

5.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一读取器，组设于该箱体外面，用以读取该识别组件的数据。

6.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一显示器，组设于该箱体外面，用以显示每一物料盒的资料。

7.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一离子棒，组设于该箱体内，用以清除该箱体内的静电。

8.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一信号灯，组设于该箱体外面，用以显示操作状态。

9.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一箱体压力表，组设于该箱体外面，用以显示箱体内的氮气压力。

10.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一流量表，组设于该箱体外面，用以显示充填氮气的流量。

11.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一排气按钮、及一氮气回收装置，该箱体更包括一氮气出口，其是与该氮气回收装置相通，该排气按钮组设于该箱体外面，用以开启该氮气回收装置。

12.如权利要求1所述的具识别及充气装置的氮气柜，其特征在于，更包括有一高效率微粒滤网，组设于该氮气入口，用以过滤氮气。