[实用新型]晶片盒的晶片固定机构检测装置无效

专利信息
申请号: 200620121333.0 申请日: 2006-06-26
公开(公告)号: CN200989773Y 公开(公告)日: 2007-12-12
发明(设计)人: 陈辰昌 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01R31/00;H01L21/66
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波;侯宇
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 晶片 固定 机构 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,适于检测不同规格的晶片盒,包括:

检测台,用以放置待检测的晶片盒;

晶片盒规格判别器,对应于该待检测的晶片盒的判定区域设置,并依据从该判定区域所得到的结果输出判定信号;

多个位置感测器组,分别用来检测至少一种规格的晶片盒,且各该位置感测器组包括光源发射端与光源接收端,其中该光源发射端与该光源接收端相对于该待检测的晶片盒的晶片固定机构的位置配置,以检测该晶片固定机构的位置是否正常;以及

控制电路,用以接收由该晶片盒规格判别器输出的该判定信号,并依照该判定信号选择该些位置感测器组中的一组来进行该晶片固定机构的位置的检测。

2.如权利要求1所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,还包括警报单元,与该些位置感测器组耦接,以于该晶片固定机构的位置异常时发出警报。

3.如权利要求1所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,该晶片盒规格判别器与该些位置感测器组是装设于该检测台上。

4.如权利要求1所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,各该位置感测器组包括激光位移感测器。

5.如权利要求1所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,各该位置感测器组的该光源发射端与该光源接收端是位于相对于该待检测的晶片盒的该晶片固定机构的两侧的同一水平高度上。

6.如权利要求1所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,还包括晶片盒定位机构,设置于该检测台上。

7.一种晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,适于检测不同规格的晶片盒,包括:

检测台,用以放置待检测的晶片盒;

多个晶片盒规格判别器,对应于该待检测的晶片盒的多个判定区域设置,并依据从该些判定区域所得到的结果输出多个判定信号;

多个位置感测器组,分别用来检测至少一种规格的晶片盒,且各该位置感测器组包括光源发射端与光源接收端,其中该光源发射端与该光源接收端相对于该待检测的晶片盒的晶片固定机构的位置配置,以检测该晶片固定机构的位置是否正常;

控制电路,用以接收由该些晶片盒规格判别器输出的该些判定信号,并依照该些判定信号选择该些位置感测器组中的一组来进行该晶片固定机构的位置的检测;以及

显示单元,耦接于该控制电路,并根据被选择的该组位置感测器组显示所对应的晶片盒规格。

8.如权利要求7所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,还包括警报单元,与该些位置感测器组耦接,以于该晶片固定机构的位置异常时发出警报。

9.如权利要求7所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,该些晶片盒规格判别器与该些位置感测器组是整合装设于该检测台上。

10.如权利要求7所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,各该位置感测器组包括激光位移感测器。

11.如权利要求7所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,各该位置感测器组的该光源发射端与该光源接收端是位于相对于该待检测的晶片盒的该晶片固定机构的两侧的同一水平高度上。

12.如权利要求7所述的晶片盒的晶片固定机构检测装置,其特征在于,还包括晶片盒定位机构,设置于该检测台上。

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