[发明专利]故障报警装置及故障报警方法

权利要求书

1.一种故障报警装置，其特征在于，包括：

运行指令捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备开始运行的指令；

工作状态信号捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备是否处于设定工作状态的工作状态信号；

计时报警装置，在运行指令捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备运行的指令且工作状态信号捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备处于设定工作状态的工作状态信号时开始计时；当处于设定工作状态的工作状态信号持续时间超时，报警。

2.如权利要求1所述的故障报警装置，其特征在于，所述运行指令捕捉装置、工作状态信号捕捉装置及计时报警装置串联电连接；其中所述运行指令捕捉装置在捕捉化学机械抛光设备开始运行的指令时导通；工作状态信号捕捉装置在捕捉化学机械抛光设备处于设定的工作状态的工作状态信号时导通，在捕捉化学机械抛光设备离开设定的工作状态的工作状态信号断路。

3.如权利要求2所述的故障报警装置，其特征在于，运行指令捕捉装置和工作状态信号捕捉装置为继电器。

4.如权利要求2或3所述的故障报警装置，其特征在于，还包括独立电源，用于供电。

5.如权利要求1至3任一项所述的故障报警装置，其特征在于：工作状态信号指化学机械抛光设备中用于放晶圆的基座下压、抬起的信号、抛光头的压力信号、抛光头的旋转信号或者真空室的真空状态信号。

6.如权利要求5所述的故障报警装置，其特征在于：设定工作状态指：化学机械抛光设备中用于放晶圆的基座下压；而化学机械抛光设备中用于放晶圆的基座抬起，离开设定工作状态。

7.根据权利要求1至3任一项所述的故障报警装置，其特征在于，还包括开关，用于切断所述故障报警装置。

8.根据权利要求7所述的故障报警装置，其特征在于，所述开关为手动开关。

9.根据权利要求1至3任一项所述的故障报警装置，其特征在于，所述计时报警装置包括串联连接的计时器和报警器。

10.一种故障报警方法，其特征在于，包括：

1)捕捉到化学机械抛光设备开始运行的指令；

2)捕捉化学机械抛光设备的工作状态信号；

3)根据工作状态信号判断化学机械抛光设备是否处于设定的工作状态；

4)如果处于设定的工作状态，则开始计时，并判断处于该设定工作状态的工作状态信号持续时间是否超时，如果超时则报警。

11.如权利要求10所述的故障报警方法，其特征在于，还包括：

如果化学机械抛光设备未处于设定的工作状态，则返回步骤2)；

如果处于设定工作状态的工作状态信号持续时间未超时则返回步骤2)。

12.如权利要求10所述的故障报警方法，其特征在于，计时报警装置持续报警时，可通过开关使其停止报警。

13.一种故障报警装置，其特征在于，包括：

运行指令捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备开始运行的指令；

工作状态信号捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光设备是否处于设定工作状态的工作状态信号；

断电信号捕捉装置，用于捕捉化学机械抛光系统的断电信号；

计时报警装置，在运行指令捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备运行的指令且工作状态信号捕捉装置捕捉到化学机械抛光设备处于设定工作状态的工作状态信号时开始计时；当处于设定工作状态的工作状态信号持续时间超时或在断电信号捕捉装置捕捉到化学机械抛光系统的断电信号时，报警。

14.如权利要求13所述的故障报警装置，其特征在于，所述运行指令捕捉装置、工作状态信号捕捉装置及计时报警装置串联电连接；断电信号捕捉装置与运行指令捕捉装置和工作状态信号捕捉装置并联电连接；其中所述运行指令捕捉装置在捕捉化学机械抛光设备开始运行的指令时导通；工作状态信号捕捉装置在捕捉化学机械抛光设备处于设定的工作状态的工作状态信号时导通，在捕捉化学机械抛光设备离开设定的工作状态的工作状态信号断路；断电信号捕捉装置在化学机械抛光系统正常供电时断开，在化学机械抛光系统断电情况下导通。

15.如权利要求14所述的故障报警装置，其特征在于，运行指令捕捉装置、工作状态信号捕捉装置和断电信号捕捉装置为继电器。