[发明专利]薄膜图案层及其制造方法无效
申请号: | 200610138233.3 | 申请日: | 2006-11-06 |
公开(公告)号: | CN101178455A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | 周景瑜 | 申请(专利权)人: | ICF科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/23 | 分类号: | G02B5/23;G03F7/00;B41J2/01;H01L51/00 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发 |
地址: | 美国加州95054圣*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 图案 及其 制造 方法 | ||
1.一种薄膜图案层,包括:
一个基板;
形成在基板上的多个挡墙,该多个挡墙限定多个收容空间,该收容空间呈行列状排列;及
多个形成在收容空间内的薄膜层;
其特征在于:每行中的收容空间的容积大小分布是无规律的,及每行中的多个薄膜层的厚度分布是无规律的。
2.如权利要求1所述的薄膜图案层,其特征在于,所述的基板材料选自玻璃、石英玻璃、硅晶圆、金属和塑料。
3.如权利要求1所述的薄膜图案层,其特征在于,所述的多个薄膜层包括第一薄膜层、第二薄膜层及第三薄膜层,每相邻三行的收容空间内分别以第一薄膜层、第二薄膜层及第三薄膜层为顺序排列。
4.如权利要求1所述的薄膜图案层,其特征在于,所述的挡墙与基板是一体成型结构。
5.如权利要求1所述的薄膜图案层,其特征在于,该收容空间容积的无规律分布范围为标准收容空间容积或平均收容空间容积的80%至120%。
6.一种薄膜图案层的制造方法,包括以下步骤:
提供一基板,其表面具有多个挡墙,该多个挡墙间形成多个收容空间,该收容空间呈行列状排列于基板上,在该多个收容空间中,每行中的收容空间的容积大小分布是无规律的;
填充墨水至该多个收容空间内,使填充至每行中的容积大小无规律分布的收容空间内的墨水是相同材料的且填充至该行中每个收容空间的墨水体积是相同的;及
固化墨水以形成多个薄膜层,使每行中相同材料的薄膜层厚度分布是无规律的。
7.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的多个挡墙通过以下分步骤形成:
在该基板上表面涂覆一个光阻材料层;
将具有预定挡墙图案的光罩设于该光阻材料层与一曝光机光源间,并曝光该光阻材料层;
利用显影方式将非挡墙图案部分的光阻材料层去除,形成设于基板上表面的多个挡墙。
8.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的多个挡墙通过以下分步骤形成:
提供一个射出成型机及一个具有预定挡墙图案的模具;
利用射出成型机将基板材料射出至该模具中;
脱模,得到该表面具有多个挡墙的基板。
9.如权利要求8所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的基板材料选自玻璃、石英玻璃、金属和塑料。
10.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的填充至每相邻三行收容空间中的墨水包括第一薄膜材料、第二薄膜材料及第三薄膜材料,每相邻三行的收容空间内分别以第一薄膜层、第二薄膜层及第三薄膜层为顺序填充。
11.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的填充步骤是利用一个喷墨装置将墨水填充至收容空间内。
12.如权利要求11所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的喷墨装置是热泡式喷墨装置和压电式喷墨装置的一种。
13.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的固化步骤是利用一个加热装置固化墨水。
14.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的固化步骤是利用一个加热装置及一个抽真空装置。
15.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的固化步骤是利用一个发光装置固化墨水。
16.如权利要求15所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的发光装置是一个紫外线发光装置。
17.如权利要求10所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,所述的多个薄膜层包括第一薄膜层、第二薄膜层及第三薄膜层,且每相邻三行的收容空间内以第一薄膜层、第二薄膜层及第三薄膜层为顺序排列。
18.如权利要求6所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该收容空间容积的无规律分布范围为标准收容空间容积或平均收容空间容积的80%至120%。
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