[发明专利]曝光机器及曝光系统有效
| 申请号： | 200610094097.2 | 申请日： | 2006-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN1869780A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 林朝成;郑德胜;白家瑄;谢忠憬;丘至和;杉浦规生;廖唯伦;连水池 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 搜索关键词： | 曝光 机器 系统 | ||
【说明书】：
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