[发明专利]平面显示器的制造方法、平面显示器用玻璃基板的外表削减装置无效
申请号: | 200610079901.X | 申请日: | 2006-04-27 |
公开(公告)号: | CN101063762A | 公开(公告)日: | 2007-10-31 |
发明(设计)人: | 柳泽真太郎 | 申请(专利权)人: | 蔡孟廷 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;H01L21/00;G09F9/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平面 显示器 制造 方法 显示 器用 玻璃 外表 削减 装置 | ||
1.一种平面显示器的制造方法,所述方法包含:于一方或双方为玻璃基板的一对基板中、最少一方形成电极的电极形成工序,和于电极形成工序后、经由密封材黏贴一对基板来密封内部的密封工序,和在密封工序之后、将玻璃基板亦即一方或双方的基板外面加以切削来打薄的玻璃基板外表削减工序;其特征在于:
所述玻璃基板外表削减工序,是将溶出所述玻璃基板外表的溶出液,向着所述外表喷射,来附加较本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度,使溶出液往所述外表喷出并冲击所述外表,利用溶出液造成的冲击的物理作用,再加上溶出液的化学作用,将玻璃外表溶出以进行削减。
2.如权利要求1所述的平面显示器的制造方法,其特征在于,所述溶出液是氢氟酸者。
3.如权利要求1或2项所述的平面显示器的制造方法,其特征在于,所述溶出液造成所述外表的冲击时的压力处于0.5kg/cm2~3.5kg/cm2的范围。
4.如权利要求1至3之任一项所述的平面显示器的制造方法,其特征在于,在溶出液喷射中,是使所述外表成为垂直入射姿势,以保持所述基板。
5.如权利要求1至4之任一项所述的平面显示器的制造方法,其特征在于,是将所述黏合后的一对玻璃基板的双方外表,同时加以切削,以将整体厚度变薄。
6.如权利要求1至5之任一项所述的平面显示器的制造方法,其特征在于,所述溶出液的喷射,是利用具有喷射孔的喷嘴来进行;在削减开始时的喷嘴的喷射孔到所述玻璃基板外表为止的距离,是5mm以上100mm以下。
7.如权利要求1至5之任一项所述的平面显示器的制造方法,其特征在于,所述溶出液的喷射,是利用具有喷射孔的喷嘴来进行;各喷射孔是以等间隔来复数设置,且从各喷射孔到所述外表为止的距离是一定的。
8.一种外面削减装置,是将平面显示器用的玻璃基板外面做削减来打薄;其特征在于包括:
在内部进行外面削减处理的处理室;将所述玻璃基板保持于处理室内特定位置的基板保持具;具有将溶出液、向着被所述基板保持具保持的所述玻璃基板的该外表喷射的喷射孔的喷嘴;以及
对喷嘴供给溶出液的溶出液供给系统;
所述溶出液供给系统,是将附加有比本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度的溶出液,往所述外表吹附并冲击所述外表,而可利用加上了溶出液的化学作用的冲击所造成的物理作用来将所述外表溶出以进行削减的压力,来对所述喷嘴供给溶出液。
9.如权利要求8所述的外表削减装置,其特征在于,所述溶出液是氢氟酸。
10.如权利要求8或9所述的外表削减装置,其特征在于,所述溶出液供给系统,是使所述溶出液从所述喷嘴的喷射孔被喷射,以0.5kg/cm2~3.5kg/cm2范围的压力冲击所述玻璃基板外表,对所述喷嘴供给所述溶出液。
11.如权利要求8至10之任一项所述的外面削减装置,其特征在于,所述基板的保持具,是在溶出液喷射中使所述外表成为垂直入射姿势,以保持所述基板。
12.如权利要求8至11之任一项所述的外面削减装置,其特征在于,所述喷嘴可将黏合后的一对玻璃基板的双方外面同时加以削减地设置在被基板保持具所保持的一对玻璃基板的两侧。
13.如权利要求8至12之任一项所述的外表削减装置,其特征在于,在削减开始时,从所述喷嘴的喷射孔到所述玻璃基板外表为止的距离,是5mm以上100mm以下。
14.如权利要求8至13之任一项所述的外表削减装置,其特征在于,各喷射孔是以等间隔来做复数设置,且从各喷射孔到所述外表为止的距离是一定的。
15.一种平面显示器,形成有黏合后的一对玻璃基板,于内部具有光透过控制部或是发光部;其特征在于:
一对玻璃基板的双方外表是,使溶出液向着所述外表喷射,以较本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度,使得溶出液进行吹附冲击的方式来进行削减;具有最大粗糙度为0.1μm以下的平坦度。
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