[发明专利]精密垂直温差梯度冷凝单晶体生长装置及方法无效
| 申请号： | 200610060337.7 | 申请日： | 2006-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1865527A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 罗建国 | 申请（专利权）人： | 罗建国 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/40;C30B29/48 |
| 代理公司： | 深圳市雄杰专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王雄杰 |
| 地址： | 518172广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精密 垂直 温差 梯度 冷凝 单晶体 生长 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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