[发明专利]纳米孔型聚甲基硅氧烷低介电常数材料及其制备方法和应用无效
| 申请号: | 200610036626.3 | 申请日: | 2006-07-21 |
| 公开(公告)号: | CN1909116A | 公开(公告)日: | 2007-02-07 |
| 发明(设计)人: | 陈宏基 | 申请(专利权)人: | 暨南大学 |
| 主分类号: | H01B3/46 | 分类号: | H01B3/46;C08L83/04;C08J5/18;H01L21/312;H01L21/768;B82B1/00;B82B3/00 |
| 代理公司: | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人: | 何淑珍 |
| 地址: | 510632广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 纳米 孔型 甲基 硅氧烷低 介电常数 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【说明书】:
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