[发明专利]用于测量在微型平版印刷偏转器系统中的标记位置的方法

权利要求书

1.一种用于确定在偏转器系统中表面上的任意形状图案的坐标的方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

a)选择定义在第一方向(X)上的移动的参考时钟信号(λ/2)，

b)提供在垂直于该第一方向(X)的第二方向(Y)上重复扫描所述表面的微扫掠，

c)选择与用于开始在该第二方向(Y)上的每个微扫掠的信号相关联的测量时钟信号(SOS)，

d)调整该第一方向(X)上的移动速度，以确定每个微扫掠的开始之间的距离，

e)执行第一次运行，其包括以下步骤：

e1)在开始位置处开始第一次微扫掠，

e2)当图案相对于偏转器系统在该第一方向(X)上移动时，检测该任意形状图案的至少一个边缘，

e3)如果检测到该图案的边缘，则生成至少一个事件，以及

e4)对直到生成每个事件为止所执行的微扫掠进行计数，

f)使用所执行的微扫掠的次数为每个事件计算在该第一方向(X)上的边缘的坐标，

g)在执行步骤a)-f)之前、期间、或之后确定该表面的校正函数，以建立在该表面上的测量点的x-y平面内的二维局部偏移(d)，从而补偿垂直于该第一方向(X)和该第二方向(Y)的第三方向(Z)上的变化，以及

h)使用所确定的校正函数计算任意形状图案的坐标。

2.根据权利要求1所述的方法，其中执行在步骤e)中所限定的运行多于一次，并且为每次运行随机选择步骤e1)中的开始位置，从而在每次运行之间生成随机分布的微扫掠。

3.根据权利要求2所述的方法，其中在步骤f)中计算该边缘的平均值，以增加在该第一方向上的图案坐标的精确度。

4.根据权利要求1-3中的任一项所述的方法，其中所述在步骤a)中选择的参考信号含有在该第一方向(X)上的系统的已知位置。

5.根据权利要求4所述的方法，其中将所述在步骤a)中选择的参考信号分成多个区间，其中每个区间优选地对应于λ/2周期，在步骤c)中选择的测量时钟信号具有对应于每个区间内的图案的8-10次扫描的周期。

6.根据权利要求1-5中的任一项所述的方法，其中该方法包括对于在该第一方向(X)上表面的移动期间、当在第二方向(Y)上微扫掠扫描该表面时引入的方位角误差的补偿。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述补偿是常数补偿。

8.根据前面的权利要求中的任一项所述的方法，其中确定任意形状图案的坐标还包括：使用用于开始在该第二方向上的每次微扫掠的信号作为参考信号、并且使用像素时钟信号作为测量信号，以确定在该第二方向(Y)上的坐标。

9.根据权利要求1-8中的任一项所述的方法，其中所述方法适用于激光平版印刷系统或电子束平版印刷系统中。

10.根据权利要求1-9中的任一项所述的方法，其中在步骤g)中确定的校正函数包括测量所述表面的物理属性，该方法包括以下步骤：

-将具有所述表面的、具有厚度(T)的物体放置在测量装置台上，

-将物体的表面分为多个测量点，其中两个相邻的测量点隔开不超过预定最大距离的距离，

-确定每个测量点处表面的梯度，

-根据梯度和物体的厚度(T)计算每个测量点的x-y平面内的二维局部偏移(d)，以及

-使用每个测量点的所计算的二维局部偏移(d)来确定表面的校正函数。

11.根据权利要求12所述的方法，其中所述确定梯度的步骤包括在每个测量点处测量表面的高度的变化。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述测量表面的高度的变化的步骤包括以下步骤：

-确定参考表面，

-测量每个测量点处的参考表面和物体的表面之间的高度(H)，

从而根据所测量的高度(H)、距至少一个相邻的测量点的每一个的距离(P)、和物体的厚度(T)，可计算x-y平面内的二维局部偏移(d)。

13.根据权利要求10所述的方法，其中该物体是参考物体，在每个测量点处给所述表面提供标记。