[发明专利]等离子体处理装置无效
| 申请号： | 200580020964.1 | 申请日： | 2005-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN1998272A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 斧高一;上坂裕之;石桥清隆;泽田郁夫 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/511;H01L21/3065;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200580020964.1/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种运用于滚珠螺杆的回流元件
- 下一篇：压力脉冲油井注水装置
