[实用新型]一种采用成熟工艺制作的新型硅微电容传声器芯片无效
申请号: | 200520114868.0 | 申请日: | 2005-07-26 |
公开(公告)号: | CN2838191Y | 公开(公告)日: | 2006-11-15 |
发明(设计)人: | 乔东海;胡维;田静;徐联;汪承灏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院声学研究所 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 高存秀 |
地址: | 100080北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 采用 成熟 工艺 制作 新型 电容 传声器 芯片 | ||
【说明书】:
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