[发明专利]基板处理装置及基板处理方法有效
| 申请号： | 200510120440.1 | 申请日： | 2005-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1773376A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | 金山幸司;久井章博;浅野彻;小林宽;奥村刚;安田周一;金冈雅;宫城聪;茂森和士 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【说明书】：
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