[发明专利]抛光垫整修器及其制造和循环使用方法无效
| 申请号： | 200510084125.8 | 申请日： | 2005-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1718371A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | T·T·道恩;V·巴拉卡尼;K·K－T·尼甘 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/00 | 分类号： | B24B53/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 整修 及其 制造 循环 使用方法 | ||
【权利要求书】：
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