[发明专利]具有在抛光时促进混合尾迹的凹槽结构的抛光垫座有效
| 申请号： | 200510077948.8 | 申请日： | 2005-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1712187A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | G·P·马尔多尼 | 申请（专利权）人： | CMP罗姆和哈斯电子材料控股公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郑修哲 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 抛光 促进 混合 凹槽 结构 | ||
【说明书】：
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