[发明专利]室温铁电薄膜红外焦平面探测器的吸收层及制备方法有效
申请号: | 200510026024.5 | 申请日: | 2005-05-20 |
公开(公告)号: | CN1693858A | 公开(公告)日: | 2005-11-09 |
发明(设计)人: | 禇君浩;林铁;孙璟兰;石富文;胡志高;陈静;孟祥建 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G01J5/20 | 分类号: | G01J5/20;H01L31/09 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 200083*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 室温 薄膜 红外 平面 探测器 吸收 制备 方法 | ||
【说明书】:
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