[发明专利]一种实现等离子体升温注渗的方法及其装置无效
| 申请号： | 200510010489.1 | 申请日： | 2005-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1752274A | 公开（公告）日： | 2006-03-29 |
| 发明（设计）人： | 孙跃;徐淑艳;马欣新;唐光泽 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 王吉东 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 等离子体 升温 方法 及其 装置 | ||
【权利要求书】：
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