[实用新型]低气压多波长XeF准分子激光器无效
| 申请号： | 200420091195.7 | 申请日： | 2004-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN2739847Y | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 陈建文;高鸿奕;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/02 | 分类号： | H01S3/02;H01S3/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气压 波长 xef 准分子激光 | ||
【说明书】：
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