[发明专利]聚二甲基硅氧烷微流控芯片复型光固化树脂模具制作方法无效
| 申请号: | 200410073433.6 | 申请日: | 2004-12-20 |
| 公开(公告)号: | CN1621945A | 公开(公告)日: | 2005-06-01 |
| 发明(设计)人: | 段玉岗;徐书洁;丁玉成;卢秉恒 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人: | 李郑建 |
| 地址: | 710049*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 聚二甲基硅氧烷 微流控 芯片 光固化 树脂 模具 制作方法 | ||
【权利要求书】:
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