[发明专利]光刻投影组件、装载锁闭装置和转移物体的方法有效
| 申请号： | 200410032685.4 | 申请日： | 2004-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1570761A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | A·J·H·克洛普;J·F·胡格坎普;J·C·J·A·乌格特斯;R·G·里维塞伊;J·H·G·弗兰斯森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 投影 组件 装载 装置 转移 物体 方法 | ||
【说明书】：
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