[发明专利]电子束曝光过程实时显示系统无效
| 申请号： | 200410009781.7 | 申请日： | 2004-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1773378A | 公开（公告）日： | 2006-05-17 |
| 发明（设计）人： | 殷伯华;方光荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G09F9/00;G09G3/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;刘秀娟 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 曝光 过程 实时 显示 系统 | ||
【说明书】：
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