[发明专利]铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试方法及装置无效
申请号: | 200310106478.4 | 申请日: | 2003-12-01 |
公开(公告)号: | CN1547036A | 公开(公告)日: | 2004-11-17 |
发明(设计)人: | 褚家如;李磊;鲁健 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
主分类号: | G01R27/26 | 分类号: | G01R27/26 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 沈廉 |
地址: | 230026*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 材料 性能 频率 自动 测试 方法 装置 | ||
【说明书】:
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