[发明专利]固定薄膜溅射用衬底的装置及用此装置来固定衬底的方法有效
| 申请号： | 03142457.0 | 申请日： | 2003-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1462160A | 公开（公告）日： | 2003-12-17 |
| 发明（设计）人： | 姜敞皓;张容源;金兑承 | 申请（专利权）人： | 三星日本电气移动显示株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 韩国蔚山*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定 薄膜 溅射 衬底 装置 方法 | ||
【说明书】：
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