[发明专利]使用两件式盖子保护模版的系统和方法有效
| 申请号： | 03142306.X | 申请日： | 2003-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN1456938A | 公开（公告）日： | 2003-11-19 |
| 发明（设计）人： | 圣地亚哥·E·德尔·普埃尔托;埃里克·R·卢普斯特拉;安德鲁·马萨尔;杜安·P·基什;阿卜杜拉·阿里汗;伍德罗·J·奥尔松;乔纳森·H·费罗斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G03F1/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱德强 |
| 地址： | 荷兰费尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 两件式 盖子 保护 模版 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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