[发明专利]制造器件的光刻法有效
| 申请号： | 02802361.7 | 申请日： | 2002-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN1474960A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | P·迪尔克森;C·A·H·于费尔曼斯;J·范温格尔登 | 申请（专利权）人： | 皇家菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/14;G03F1/00;H01L21/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 胡强;杨松龄 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 器件 光刻 | ||
【说明书】：
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