[发明专利]树脂等倍正像透镜阵列及其制作方法

权利要求书

1.一种制作金属模的原模的方法，该金属模是在通过注射成形法制作规则地排列有微小球面透镜的透镜板时所使用的金属模，该方法特征在于包括：

准备一具有基本平行且平坦表面的玻璃基板的步骤；

在上述玻璃基板表面上形成蚀刻防止膜步骤；

在上述蚀刻防止膜上规则地形成与上述微小球面透镜相对应的微小开口的步骤；

在上述蚀刻防止膜作为掩模的情况下，对上述玻璃基板进行等方向性蚀刻，并在上述微小开口的下方形成凹窝的步骤；

剥离上述蚀刻防止膜的步骤；以及

对上述玻璃基板进一步进行等方向性蚀刻而形成与上述微小球面透镜相对应的凹窝的步骤。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述在上述蚀刻防止膜上规则地形成上述微小开口的步骤，是通过对该蚀刻防止膜的与上述微小球面透镜相对应的部分用电磁波照射，将该部分加热并使之蒸发实现的。

3.一种制作金属模的原模的方法，该金属模是在通过注射成形法制作规则地排列有微小球面透镜板时所使用的金属模，该方法特征在于包括：

准备一具有基本平行且平坦表面的玻璃基板的步骤；

在上述玻璃基板上形成金属模的步骤；

在上述金属膜上形成光刻胶的步骤；

对上述光刻胶进行构图的步骤；

以上述被构图的光刻胶作掩模，蚀刻上述金属膜，有规则地形成与上述微小球面透镜相对应的微小开口的步骤；

剥离上述光刻胶的步骤；

以上述金属膜作为掩模，对上述玻璃基板进行等方向性蚀刻，而在上述微小开口的下方形成凹窝的步骤；

剥离上述金属膜的步骤；以及

对上述玻璃基板进一步进行等方向性蚀刻，而形成与上述微小球面透镜相对应的凹窝的步骤。

4.一种制作金属模的原模的方法，该金属模是在通过注射成形法制作规则地排列有微小球面透镜板时所使用的金属模，该方法特征在于包括：

准备一具有基本平行且平坦表面的玻璃基板的步骤；

在上述玻璃基板上形成金属模的步骤；

在上述金属膜上形成光刻胶的步骤；

对上述光刻胶进行构图的步骤；

以上述被构图的光刻胶作掩模，蚀刻上述金属膜，有规则地形成与上述微小球面透镜相对应的微小开口的步骤；

剥离上述光刻胶的步骤；

以上述金属膜作为掩模，对上述玻璃基板进行等方向性蚀刻，而在上述微小开口的下方形成凹窝的步骤；

以其上积层有上述光刻胶的上述金属膜作为掩模，对上述玻璃基板进行等方向性蚀刻，而在上述微小开口的下方形成凹窝的步骤；

剥离该光刻胶及上述金属膜的步骤；以及

对上述玻璃基板进一步进行等方向性蚀刻，而形成与上述微小球面透镜相对应的凹窝的步骤。

5.一种制作金属模的原模的方法，该金属模是在通过注射成形法制作规则地排列有微小球面透镜的透镜板时所使用的金属模，该方法特征在于包括：

准备一具有基本平行且平坦表面的玻璃基板的步骤；

在上述玻璃基板上形成金属膜的步骤；

在上述金属膜上形成第一光刻胶的步骤；

对上述第一光刻胶进行构图的步骤；

以上述被构图的第一光刻胶作为掩模，蚀刻该金属模，有规则地形成与上述微小球面透镜相对应的微小开口的步骤；

剥离上述第一光刻胶的步骤；

然后形成第二光刻胶的步骤；

从上述玻璃基板侧照射光，以通过上述金属膜的微小开口使上述第二光刻胶曝光的步骤；

将上述第二光刻胶的被曝光部分经显像而除去的步骤；

以其上积层有上述第二光刻胶的上述金属膜作为掩模，对上述玻璃基板进行等方向性蚀刻，而在上述微小开口的下方形成凹窝的步骤；

剥离上述第二光刻胶及上述金属膜的步骤；以及

对上述玻璃基板进一步进行等方向性蚀刻，而形成与上述微小球面透镜相对应的凹窝的步骤者。