[发明专利]聚合物掺混物及其在用于微细光刻的光刻胶组合物中的应用无效
| 申请号： | 01819800.7 | 申请日： | 2001-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1498360A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | L·L·博格;F·L·沙德特三世 | 申请（专利权）人： | 纳幕尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 关立新;郭广迅 |
| 地址： | 美国特拉华*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚合物 掺混物 及其 用于 微细 光刻 组合 中的 应用 | ||
【说明书】：
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