[发明专利]通过激光烧蚀沉积薄膜无效
| 申请号： | 01816008.5 | 申请日： | 2001-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1461355A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 埃斯特费克·塔曼彦;格利戈里·塔曼彦 | 申请（专利权）人： | AGT第一股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 激光 沉积 薄膜 | ||
【权利要求书】：
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