[发明专利]用于排放均匀化学制品的滴落歧管无效
| 申请号： | 01807368.9 | 申请日： | 2001-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN1420806A | 公开（公告）日： | 2003-05-28 |
| 发明（设计）人： | 邓·E·安德森;卡特里娜·米哈耶里奇;麦克·拉夫金;约翰·M·德拉奥斯 | 申请（专利权）人： | 拉姆研究公司 |
| 主分类号： | B05B1/02 | 分类号： | B05B1/02;B08B1/04;B08B3/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈坚 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 搜索关键词： | 用于 排放 均匀 化学 制品 滴落 歧管 | ||
【说明书】：
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