[发明专利]阵列波导光栅及其校正中心波长的方法

权利要求书

1.一种阵列波导光栅，其包括：

波导结构，具有：至少一个光输入波导，与至少一个光输入波导的发射边相连的第一平板波导，与第一平板波导的发射边相连、且由长度彼此相差设定量的并排设置的多个信道波导构成的阵列波导，与阵列波导的发射边相连的第二平板波导，多个并排设置且与第二平板波导的发射边相连的光输出波导；

在基板上形成波导结构；

平板波导是通过在与穿过平板波导的光路交叉的交叉面上分隔开所述第一平板波导和第二平板波导的至少一个波导形成的；

设置一滑移部件，它根据温度沿所述分隔面滑移被分隔开的分隔平板波导的至少一侧，来降低阵列波导光栅中心波长的温度相关性；以及，

滑移部件的长度设置成能通过滑移方向的塑性变形校正阵列波导光栅的中心波长与设定波长的偏差的长度。

2.根据权利要求1所述的阵列波导光栅，其中，通过向滑移部件施加压应力使滑移部件发生塑性变形。

3.根据权利要求1所述的阵列波导光栅，其中，通过向滑移部件施加拉伸应力使滑移部件发生塑性变形。

4.一种阵列波导光栅，包括：

可在基板上形成波导结构，使第一平板波导与至少一个光输入波导的发射边相连，阵列波导由用于传输从第一平板波导发出的光的、并排设置的多个信道波导构成，其中，所述信道波导的长度彼此相差设定量，该阵列波导与第一平板波导的发射边相连，第二平板波导与阵列波导的发射边相连，以及多个并排设置的光输出波导与第二平板波导的发射边相连；

分隔在与穿过平板波导的光路交叉的交叉面上的所述第一平板波导和第二平板波导中的至少一个波导，形成分隔平板波导；

设置一滑移部件，它根据温度沿所述分隔面滑移被分隔开的分隔平板波导来降低阵列波导光栅中心波长的温度相关性；

在滑移部件的移动区域内沿其滑动方向设置洞或孔；

将所述滑移部件的长度设置成能校正阵列波导光栅中心波长与设定波长的偏差的长度，该校正是通过将具有尺寸大于洞或孔开口尺寸的大插入部分的装配部件装配到所述洞或孔中来实现的。

5.根据权利要求4所述的阵列波导光栅，其中将装配部件设置成朝其顶端直径渐小的锥形螺钉。

6.根据权利要求1到5中任一项所述的阵列波导光栅，其中滑移部件由金属制成。

7.一种校正阵列波导光栅中心波长的方法，其包括：

波导结构具有至少一根光输入波导、与至少一根光输入波导的输出端相连的第一平板波导，与第一平板波导的发射边相连的阵列波导，该阵列波导由多个长度彼此相差设定量的并排设置的信道波导构成，与阵列波导的发射边相连的第二平板波导，多个与第二平板波导的发射边相连的并排设置的光输出波导；

波导结构设置在基板上；

分隔在与穿过平板波导的光路交叉的交叉面处的所述第一平板波导和第二平板波导中的至少一个波导形成分隔平板波导；

在阵列波导光栅中设置滑移部件，它根据温度沿所述分隔面滑移所述被分隔开的分隔平板波导的至少一侧来降低阵列波导光栅中心波长的温度相关性；以及，

通过使滑移部件发生塑性变形，沿所述分隔面移动所述分隔平板波导的至少一侧，从而将阵列波导光栅的中心波长设定为设定波长。

8.根据权利要求7所述的校正阵列波导光栅中心波长的方法，其中，通过向上述滑移部件施加压应力使滑移部件发生塑性变形。  

9.根据权利要求7所述的校正阵列波导光栅中心波长的方法，其中，通过向上述滑移部件施加拉伸应力使滑移部件发生塑性变形。