[实用新型]清洁装置

权利要求书

1.一种清洁装置，适用于藉由工作流体将废气管路内壁之的附着物清除，其特征是：该清洁装置包括：

一用以将工作流体输入于废气管路的喷洒装置，，以第一位置连接于废气管路中，工作流体由喷洒装置的喷洒作用而流经废气管路内壁，并且对于附着物进行溶解及冲刷；以及一用以接收喷洒装置所输出的工作流体，并且对于该工作流体中的附着物进行滤除的循环/过滤装置，该循环/过滤装置以第二位置连接于中废气管路，并且将过滤后的工作流体泵送至该喷洒装置。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征还在于：还包括有连接于废气管路中的气体输送装置，该气体输送装置用以将气体由第一位置向第二位置输送，使得该喷洒装置所喷出的工作流体是伴随该气体的移动而由该第一位置向该第二位置输送。

3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征还在于：该喷洒装置包括有多个喷嘴，各喷嘴的出口是朝向于废气管路的内壁，由喷嘴将工作流体喷洒于该废气管路的内壁。

4.根据权利要求1、2或3所述的清洁装置，其特征还在于：其中附着物为结块。

5.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征还在于：其中工作流体为水。

6.根据权利要求1、2或3所述的清洁装置，其特征还在于：附着物为半导体厂用废气管路中的结块。

7.根据权利要求6所述的清洁装置，其特征还在于：气体为氮气。