[发明专利]包括波状梁结构的微机电致动器

权利要求书

1.微机电致动器(100，200，1300)，包括一个衬底(101，201)，其特征在于，该微机电致动器包括：

一个梁(110，210)，它具有分别连接在衬底上的第一及第二端部(110a，110b；210a，210b)及分布在第一及第二端部之间具有波状形状的主体(110c；210c)，主体包括与致动对象(10，20)连接并响应作用于梁的压缩力及张力中至少一种力在垂直于梁的方向上对致动对象施加力(Fa)的工作部分。

2.根据权利要求1的致动器，其中主体(210)包括会合在第一及第二端部(210a，210b)之间的点上的第一及第二相反弯曲的部分(211a，211b)及其中主体被操作及与致动对象(20)连接，以响应作用于梁的压缩力及张力中至少一种力使致动对象绕相反弯曲部分的会合点(215)转动。

3.根据权利要求1的致动器，其中梁包括第一及第二梁(1310，1320)，其中每个梁具有连接在衬底上的第一及第二端部及分布在第一及第二端部之间的主体，每个主体包括会合在第一及第二端部之间的点(1315)上的第一及第二相反弯曲的部分(1311a，1311b；1321a，1321b)，其中第一及第二梁的主体彼此相交在第一及第二梁的主体的第一及第二相反弯曲部分的会合点上，及其中第一及第二梁的主体被操作及与致动对象(20)连接，以响应作用于第一及第二梁的压缩力及张力中至少一种力使致动对象绕第一及第二梁的主体相交点转动。

4.根据权利要求1，2或3的致动器，其中波状形状为正弦波。

5.根据权利要求1，2或3的致动器，其中波状形状近似为余弦曲线的单个周期。

6.根据权利要求1，2或3的致动器，其中梁的第一及第二端部被固定连接在衬底上。

7.根据权利要求1，2或3的致动器，其中梁响应于梁的温度被操作以产生压缩力及张力中至少一种力。

8.根据权利要求1或2的致动器，其中第一及第二端部中至少一个通过至少一个可移动载体(1010a)连接在衬底上。

9.根据权利要求1，2或3的致动器，其中波状形状近似为一个直梁的弯曲波模形状。

10.根据权利要求1，2或3的致动器，其中梁被这样设计，即主体如果离开衬底则其显现波状形状。