[发明专利]陶瓷烧结法、烧结炉、陶瓷电子零件制法、装置及烧结用收纳体

说明书

本发明是涉及对于含陶瓷原料的各种处理品以做成陶瓷电子零件等的陶瓷制品的陶的烧结处理。

举例来说，叠层型陶瓷电容器、闸极体、磁铁铁心、压电体等的利用了陶瓷的陶瓷电子零件或者其它的陶瓷制品，是先将陶瓷原料成型成预定的形状之后，再藉由对于这个成型体进行烧结而得的。传统上，使用于烧结陶瓷电子零件的烧结炉是具备：隧道构造的炉本体；和被设在炉本体上的发热体；和向着炉内的收纳体从侧面供给炉内气相环境用气体的炉内气相环境用气体供给管；和从炉的侧面排出炉内的气相环境气体的气相环境气体排出管；和将收纳着许多尚未烧结的陶瓷电子零件的收纳体从隧道的入口运送到出口的推送装置。

如图6所示，收纳体100是重叠数个在上面呈开口状且在侧面上部的中央部呈开口的盒状的承盘101，并且在最上层的承盘101的上面又叠上一个盖子102。这种收纳体100是在被放置于支承板103上的状态下，被导入到隧道式烧结炉内。尚未烧结的陶瓷电子零件则收纳在各承盘101内。

在进行陶瓷的烧结时，制品为了要获得所期望的特性，必须将炉内气相环境气体的浓度、流量、炉内的内压等等调整成预定的条件。例如：必须将进行烧结时所产生的不必要的气体(N₂气相环境中的CO₂气体等)迅速地排出。传统的烧结炉虽然是从炉的侧面排出气体，但是仍然有人提出“希望能够更迅速地排出气体”的需要。

此外，以传统的方式进行陶瓷电子零件的烧结时，必须对于收纳在收纳体100内的尚未烧结的陶瓷电子零件充分地供给炉内气相环境用气体，因此，也有人提出“希望有能够比传统的收纳体100具有更佳的透气性的收纳体”的需要。此外，就收纳体100本身而言，最好是能够具有良好的温度分布且与炉内气相环境用气体之间不易发生反应。

本发明就是有鉴于上述情事而开发完成的，其目的在于：提供可烧结出良好的陶瓷的陶瓷的烧结方法、隧道式烧结炉、陶瓷电子零件的制造方法及装置、陶瓷电子零件的烧结用收纳体。

为了达成上述目的，本申请人提出一种技术方案，其特征为：当利用隧道式烧结炉来烧结含陶瓷原料的尚未烧结的处理品时，对于通过隧道的处理品的行进方向，从侧方将炉内气相环境用气体供给到炉内，并且从炉的底部将炉内的气体排出。

根据本发明，从处理品的侧方所供给的炉内气相环境用气体，在进行烧结时被使用过后，随即就从炉的底部排出。也就是说，可产生从处理品朝向炉的底部的稳定气流，所以可一直对处理品供给新鲜的炉内气相环境用气体。尤其是，因与处理品发生反应而产生的不必要的气体的比重较所供给的炉内气相环境用气体的比重更大的时候，能够更迅速地将该不必要的气体排出。因此，根据本发明，可在气相环境中烧结出良好的陶瓷。

此外，本发明所提出的另一个技术方案的特征为：从隧道的入口侧的底部排出炉内的气体。

根据本发明，能够防止因与处理品发生反应而产生的不必要的气体侵入到正在进行烧结的区域，所以可提高正在进行烧结的区域的气相环境的稳定性，其结果可防止烧结出品质不一的陶瓷。

此外，本发明所提出的另一个技术方案是在于被供给炉内气相环境用气体的烧结炉中烧结尚未烧结的陶瓷电子零件所使用的陶瓷电子零件的烧结用收纳体，其特征为：该陶瓷电子零件的烧结用收纳体具备：

互相隔着间隔重叠设置的复数个第一板体；和

被配置于各第一板体的上面侧与该第一板体隔着间隔，且在上面供放置尚未烧结的陶瓷电子零件的第二板体。

根据本发明，不仅是在于被放置在第二板体上面的尚未烧结的陶瓷电子零件的上方空间，就连第二板体与第一板体之间的间隙也形成气相环境气体的通路，所以气相环境气体的透气性变得很好。如此一来，可降低陶瓷电子零件的烧结品质的不一。

兹佐以图面，说明本发明的第一实施形态如下。

图1是隧道式烧结炉的纵剖面图。

图2是沿着图1中的A-A剖面线而从箭头方向观察时的横剖面图。

图3是陶瓷电子零件的烧结用收纳体的分解结构图。

图4是陶瓷电子零件的烧结用收纳体的剖面图。

图5是用来说明其它例子的陶瓷电子零件的烧结用收纳体的配置的上表面图。

图6是传统的陶瓷电子零件的烧结用收纳体的分解结构图。

此处的含陶瓷原料的处理品，是举出：叠层型陶瓷电容器、叠层型电感器、闸极体等的陶瓷电子零件为例加以说明。