[发明专利]具有内部防腐措施的涤气装置

说明书

本发明涉及一种涤气装置，具体的说是一种在燃烧室中具有防腐措施的涤气装置

通常，在半导体生产过程中产生的排放气体含有较高浓度的有害物质，因此将排放气体排放到大气之前必须要除掉该有害物质。一般用来清除排放气体有害物质的涤气装置，如图1所示，它由下列几部分组成，即：流入排放气体的流入口1；对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室3；将在燃烧室3中进行过燃烧处理的排放气体清除水溶性有害物质的湿法处理室5；排放经由上述处理过程的气体排放口(图中未示出)等。燃烧室如在图2中所示，为了排放气体的燃烧处理，连接着用来提供燃烧空气的管道11，壳体由外壁13a和内壁13b形成一种双重结构，在外壁13a和内壁13b之间装有绝热材料15。流入这种燃烧室3的排放气体中含有腐蚀装置内部合金的F₂、NF₃等腐蚀性气体。在燃烧室3中燃烧排放气体的过程中，排放气体中的F₂、NF₃成分要腐蚀燃烧室的内部合金构件，这将缩短装置的使用寿命。

本发明的目的是为了解决上述问题而提供一种能防止腐蚀设备内部合金构件的涤气装置。

本发明的目的是通过如下技术方案实现的：本发明的涤气装置，也如同通常的涤气装置一样，由下列的几个部分构成，即：流入排放气体的流入口；对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室；将在燃烧室中进行燃烧处理过的排放气体清除水溶性有害物质用的湿法处理室；排放经由上述处理过程的气体排放口；在燃烧室中为了提供燃烧气体，接有燃烧气体供应管道，壳体制成由内壁和外壁形成的双重结构，在内壁与外壁之间装有绝热材料；其特征是：在绝热材料与内壁之间安装供水管道，供水管道的一端连接到燃烧气体的供应管道上。从上述供水管道的另一端如果注水，那么被注入的水将沿着安装在燃烧室的内壁与外壁之间的供水管道进行流动，同时被加热成水蒸汽。由于供水管道与供应燃烧气体的管道相连，水蒸汽将被注入到供应燃烧气体的管道中，并跟燃烧气体一同进入燃烧室内。进入燃烧室内的水蒸汽将同腐蚀性物质进行化学反应，变成另外一种物质，从而可以防止燃烧室内部合金构件的腐蚀。

本发明具有如下优点：由于采用如上所述的装置，在其燃烧室中就使排放气体中的腐蚀设备内部合金构件的F₂、NF₃等与水蒸汽进行化学反应，变成HF、HOF、HNO₂、FNO₂等化合物，能提高设备的耐久性能，因而延长使用寿命。另外，在上述化学反应中生成的化合物对水的溶解度高，因而在湿法处理室中的处理过程变得容易。与此同时，在腐蚀成分处理中使用的水蒸汽是再利用燃烧室的燃烧处理用热量来生成的，因此也具有提高能效的效果。

下面，参照附图对本发明进行详细的说明。

图1是一般涤气装置结构示意图。

图2是一般涤气装置的燃烧室结构示意图。

图3是本发明具有内部防腐措施的燃烧室局部立体剖视图。

见图1、3，本发明的这种燃烧室也用于如图1所示的一般用涤气装置上。该涤气装置设有流入排放气体的流入口1；对流入的排放气体进行燃烧处理的燃烧室3；将在燃烧室中进行燃烧处理过的排放气体清除水溶性有害物质用的湿法处理室5；排放经由上述处理过程的气体排放口(图中未示出)。图3示出本发明的燃烧室3，它连接着一个对排放气体进行燃烧处理所需的供应燃烧气体用管道21；它的壳体由形成内腔并与流入排放气体相接触的内壁23b和形成外罩的外壁23a构成的双重结构形成。在外壁23a和内壁23b之间装有防止散热的绝热材料25；在内壁23b和绝热材料25之间装有供水管道27。

在本发明的涤气装置中，如向装在燃烧室3的壳体内供水管道27注水，那么水将沿着水管流动的同时借助燃烧室的热量被加热成水蒸汽。水蒸汽将注入到一个与供水管道27相连的供应燃烧气体的管道21中，并同燃烧气体一起注入到燃烧室3内。流入的水蒸汽将与燃烧室3中的排放气体的F₂、NF₃进行化学反应，变成HF、HPF、HNO₂、FNO₂等。这种化学反应的结果如下：