[实用新型]辉光放电表面处理中等离子体诊断装置用的探针无效
| 申请号： | 00243253.6 | 申请日： | 2000-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN2431561Y | 公开（公告）日： | 2001-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李成明;张勇;曹尔妍;薛明伦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辉光 放电 表面 处理 等离子体 诊断 装置 探针 | ||
【权利要求书】：
1、一种辉光放电表面处理中等离子体诊断装置用的探针，包括一绝缘陶瓷管、金属丝制成探针丝，其特征在于：一屏蔽作用的不锈钢套管套在陶瓷管外，不锈钢套管的前端密封焊合，并留有一小孔；弹簧支撑在不锈钢套管和陶瓷管之间，陶瓷管内穿进探针丝，探针丝的末端与导线连接，探针丝头穿出绝缘陶瓷管和不锈钢套管前端的小孔，探针头露在小孔外面。
2、按权利要求1所述的一种辉光放电表面处理中等离子体诊断装置用的探针，其特征在于：由高熔点的W、Mo制成的探针丝与绝缘陶瓷管之间距离保持在1mm，间隙的深度在5mm-10mm，
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