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- [发明专利]填料接收容器的方法和装置-CN200910141801.9有效
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M·布勒希林格
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梅特勒-托利多公开股份有限公司
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2009-05-22
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2010-01-13
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G01G13/12
- (100)内,所述配料分配装置(300)包括阀(310),所述阀允许可变地设定从所述存储器(200)到所述接收容器(100)内的质量流
;计时装置(400),用于确定填充循环开始以外所经历的时间(t);天平(500),用于确定所述接收容器(100)内存在的物质的质量(m);以及控制单元(600),用于控制所述阀(310),其特征在于,所述控制单元(600)包含评估模块(610)以及校正模块(620),其中,至少在所述填充循环过程中的一个时间(t),所述评估模块(610)完成在所述填充循环结束时的时间(100)内将要出现的质量 的评估,其中所述评估是基于这样的假设,即从所述时间(t),所述阀(310sub>z)对比,并且如果发现所评估的质量 小于目标质量(mz
- 填料接收容器方法装置
- [发明专利]制做薄膜致动反射镜阵列的方法-CN97182217.4无效
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闵庸基
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大宇电子株式会社
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1997-05-27
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2000-05-24
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H04N9/31
- 一种用于制做用于光学投影系统中的薄膜致动反射镜(401)的阵列的方法,该方法包括有步骤设置一基底(310)在该基底的顶上沉积一薄膜待除层;在该薄膜待除层上生成M×N空腔的一阵列;在该薄膜待除层包括这些空腔的顶上沉积一弹性层;将该弹性层构型成M×N弹性部件(335)的一阵列;在该基底上形成M×N开关装置(415)的一阵列;在各弹性部件和开关装置的顶上沉积一钝化层(340)和一蚀刻剂阻止层(350);选择地去除该蚀刻剂阻止层和该钝化层以使这些弹性部件被暴露出;连续地在各弹性部件的顶上形成M×N第二薄膜电极(365)的一阵列和M×N薄膜电致位移部件(375)的一阵列形成M×N第一薄膜电极的一阵列和接触部件的一阵列;去除该薄膜待除层,从而形成M×N致动机构的一阵列;用一待除材料覆盖该M×N致动机构的阵列;在该待除材料的顶上沉积一反射镜层将该反射镜层构型成M×N反射镜的一阵列;及去除该待除材料,从而形成该M×N薄膜致动反射镜阵列。为了防止有源矩阵的热损伤,在本发明的方法中,在所有高温处理完成后,在基底(310)上形成M×N开关装置(415)的一阵列,进而减少了在该开关装置(415)的阵列上出现的热损伤的可能性。
- 制做薄膜反射阵列方法
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