专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [外观设计]吊灯(210501-CN202130391518.3有效
  • 郑逸晖 - 郑逸晖
  • 2021-06-23 - 2021-10-08 - 26-05
  • 1.本外观设计产品的名称:吊灯(210501)。2.本外观设计产品的用途:室内照明。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
  • 吊灯210501
  • [发明专利]一种降低硅空洞缺陷率的硅层减薄方法-CN201711388150.4有效
  • 王永波 - 武汉新芯集成电路制造有限公司
  • 2017-12-20 - 2020-08-21 - H01L21/306
  • 本发明提供一种降低硅空洞缺陷率的硅层减薄方法,属于半导体领域,包括:激活操作,于刻蚀腔室内添加一P+类型的第一控片;第一次调节操作,于刻蚀腔室内添加一P‑类型的第二控片;第一次跑货操作,于刻蚀腔室内依次添加多个未经减薄处理的复合结构,利用HHC依次进行刻蚀减薄处理;第二次调节操作,于刻蚀腔室内添加一P‑类型的第三控片;第二次跑货操作,于刻蚀腔室内依次添加多个未经减薄处理的复合结构,利用HHC依次进行刻蚀减薄处理,随后依次取出。本发明的有益效果:通过添加第二控片,优化HHC刻蚀速率,工艺精度更易控制,保证刻蚀厚度达到目标值的同时,降低硅空洞缺陷率,从而提高提高成品良率。
  • 一种降低空洞缺陷硅层减薄方法

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