专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]无依托超薄金刚石X光窗口及其制备工艺-CN02111270.3无效
  • 应萱同 - 复旦大学
  • 2002-04-04 - 2002-12-25 - C23C16/27
  • 本发明属于光电子功能材料及器件技术领域,具体涉及一种用无依托超薄金刚石多晶薄膜制备的新一代X光窗口及其制备工艺。本发明采用金刚石薄膜高密度(109-10/cm2)成核及优化生长工艺,制备无依托超薄金刚石多晶薄膜,再用化学方法刻蚀掉一部分硅基板,形成直径为4-8毫米的完全无依托超薄金刚石X光窗口。该窗口在50-1550ev波段具有良好的透射率,具有低吸收、高热导的优良特性及很高的抗辐射特性,远优于传统的X光铍窗口,可广泛应用于X光元素分析、深亚微米超大规模集成电路制版技术、生物医学、物理、化学等研究领域
  • 依托超薄金刚石窗口及其制备工艺

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