专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种制备晶体管T型纳米栅的方法-CN200710064874.3有效
  • 刘亮;张海英;刘训春 - 中国科学院微电子研究所
  • 2007-03-28 - 2008-10-01 - H01L21/28
  • 本发明公开了一种制备晶体管T型纳米栅的方法,包括:A、在清洗干净的外延片上匀一层易于实现去胶和剥离的第一层电子束胶,然后前烘;B、在第一层电子束胶上匀第二层电子束胶ZEP520A,然后前烘;C、在第二层电子束胶ZEP520A上匀一层易于实现去胶和剥离的第三层电子束胶,然后前烘;D、在第三层电子束胶上匀第四层电子束胶ZEP520A,然后前烘;E、进行栅脚版电子束曝光;F、进行栅帽版电子束曝光;G、依次显影第四层电子束胶ZEP520A,第三层电子束胶,第二层电子束胶ZEP520A和第一层电子束胶;H、腐蚀栅槽,蒸发栅金属并剥离,形成晶体管T型纳米栅。
  • 一种制备晶体管纳米方法
  • [发明专利]一种晶体管T型纳米栅的制备方法-CN200710063374.8无效
  • 刘亮;张海英;刘训春 - 中国科学院微电子研究所
  • 2007-01-10 - 2008-07-16 - H01L21/28
  • 本发明公开了一种晶体管T型纳米栅的制备方法,包括:A.在清洗干净的外延片上匀一层易于实现去胶和剥离的第一层电子束胶,然后前烘;B.在所述第一层电子束胶上匀第二层电子束胶ZEP520A,然后前烘;C.在所述第二层电子束胶ZEP520A上匀一层易于实现去胶和剥离的第三层电子束胶,然后前烘;D.在所述第三层电子束胶上匀第四层电子束胶ZEP520A,然后前烘;E.进行栅帽版电子束曝光,依次显影第四层电子束胶ZEP520A和第三层电子束胶;F.进行栅脚版电子束曝光,依次显影第二层电子束胶ZEP520A和第一层电子束胶;G.腐蚀栅槽,蒸发栅金属并剥离,形成晶体管T型纳米栅。
  • 一种晶体管纳米制备方法
  • [发明专利]一种晶体管T型纳米栅的制作方法-CN200710064854.6无效
  • 刘亮;张海英;刘训春 - 中国科学院微电子研究所
  • 2007-03-28 - 2008-10-01 - H01L21/28
  • 本发明公开了一种晶体管T型纳米栅的制作方法,该方法包括:A、在清洗干净的外延片上淀积一层氮化硅或二氧化硅介质;B、在所述氮化硅或二氧化硅介质上匀第一层电子束胶ZEP520A,然后前烘;C、在所述第一层电子束胶ZEP520A上匀一层易于实现去胶和剥离的第二层电子束胶,然后前烘;D、在所述第二层电子束胶上匀第三层电子束胶ZEP520A,然后前烘;E、进行栅版电子束曝光;F、依次显影第三层电子束胶ZEP520A,易于实现去胶和剥离的第二层电子束胶和第一层电子束胶ZEP520A;G、等离子刻蚀所述氮化硅或二氧化硅介质;H、腐蚀栅槽,蒸发栅金属并剥离,形成晶体管T型纳米栅。
  • 一种晶体管纳米制作方法
  • [发明专利]充气轮胎-CN202111601401.9在审
  • 小林勇挥;里井彩 - 通伊欧轮胎株式会社
  • 2021-12-24 - 2022-07-01 - B60C11/03
  • 本发明提供一种充气轮胎,作为实施方式一例的充气轮胎(1)具有:主沟(20、21),其从接地端(E)侧朝向赤道侧(CL)延伸;以及花纹块,其沿着主沟(20、21)而形成,且沿着轮胎周向而与主沟(20、21花纹块在位于接地端(E)侧的位置的胎肩区,具有沿着主沟(20、21)而形成的刀槽花纹(51、61),在胎肩区,沿着刀槽花纹(51、61)的边缘而形成有切开部(520、620)。
  • 充气轮胎

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