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- [发明专利]微光刻投射曝光装置中的光学布置-CN201080052699.6有效
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A.舍帕克;H-J.曼;F.艾瑟特;关彦彬
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卡尔蔡司SMT有限责任公司
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2010-09-23
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2012-08-15
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G03F7/20
- (110,210)和用于光学元件(110,210)的支撑元件(120,220),其中光学元件(110,210)和支撑元件(120,220)通过至少三个解耦元件(131,132,133;231,232,233)连接在一起;并且其中解耦元件(131,132,133;231,232,233)与光学元件(110,210)和支撑元件(120,220)整体地形成。
- 微光投射曝光装置中的光学布置
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