专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]设备前端模块-CN201910149410.5在审
  • 尹俊弼;张在元 - 大福自动化洁净设备公司
  • 2019-02-28 - 2020-04-03 - H01L21/677
  • 本发明提供一种设备前端模块,包括:运送室;装载端口模块,安装有前开式晶片传送盒;晶片运送机器人,位于所述运送室内,并且将所述前开式晶片传送盒中的晶片运送至工艺设备侧,其中所述前开式晶片传送盒安装在所述装载端口模块以与所述运送室连通;缓冲模块,在对所述装载端口模块安装所述前开式晶片传送盒之前/之后保管所述前开式晶片传送盒,并且对所述前开式晶片传送盒注入惰性气体以吹扫所述晶片。
  • 设备前端模块
  • [发明专利]设备前端模块-CN202211096469.0在审
  • 河合俊宏;小仓源五郎 - 昕芙旎雅有限公司
  • 2022-09-06 - 2023-03-10 - H01L21/677
  • 一种设备前端模块,其设置有循环路径,该循环路径包括形成在外壳内的基板传送空间以及被构造为使气体从基板传送空间的一侧流回到另一侧的返回路径,该设备前端模块包括:分隔壁,其被构造为将基板传送空间与返回路径分开;捕获部件,其设置在返回路径中、在气体通过循环路径循环的状态下具有比基板传送空间更高的压力并且被构造为捕获流过返回路径的气体中包含的粒子;以及连接管,其被构造为将在设置在基板传送空间中的预定的设备内流动的气体引导到返回路径
  • 设备前端模块
  • [发明专利]热泵设备模块-CN201780040325.4有效
  • 弗雷德里克·萨文斯特兰德;托尔伯恩·阿萨森;克里斯蒂安·古尔布兰德森 - ES节能有限公司
  • 2017-07-07 - 2021-08-27 - F24F1/56
  • 本发明涉及一种用于加热和/或冷却供水的热泵设备模块,所述热泵设备模块包括:设备壳体,所述设备壳体至少部分地设有外壁;热泵装置,所述热泵装置包括冷凝器、蒸发器和布置在所述冷凝器和所述蒸发器之间的压缩机,所述压缩机配置为将传热介质从所述蒸发器传送到所述冷凝器;其中,所述热泵设备模块分成至少两个独立隔室,所述至少两个独立隔室为:‑气流隔室,所述气流隔室包括第一热泵部件,所述第一热泵部件是所述冷凝器或所述蒸发器,并且配置为允许空气流经所述气流隔室,所述第一热泵部件配置为利用所述空气来加热或冷却所述传热介质
  • 设备模块
  • [发明专利]设备前端模块-CN201611129317.0有效
  • 冈部勉;堀部秀敏 - TDK株式会社
  • 2016-12-09 - 2020-12-01 - H01L21/673
  • 本发明提供一种EFEM,其具有:晶圆搬运部,其具有向处理室搬运的晶圆通过的晶圆搬运室;装载端口部,其将形成于收纳所述晶圆的容器的主开口与所述晶圆搬运室气密地连接。所述晶圆搬运部具有:下降气流形成单元、和以下降气流的一部分经由所述主开口流入与所述晶圆搬运室连接的所述容器的方式进行导向的整流板。所述装载端口部具有:底部嘴,其与在所述容器的底面中相较于底面中央距所述主开口更远的位置形成的底孔可连通;气体排出流路,其可以经由所述底部嘴将所述容器的内部的气体排出到所述容器的外部。
  • 设备前端模块
  • [发明专利]显示设备模块-CN200610136043.8无效
  • 李一镐 - LG电子株式会社
  • 2006-10-20 - 2007-10-31 - H01L27/32
  • 本发明公开的是一种显示设备模块,在该模块中,第一和第二线路很容易连接到设备驱动单元或是安装了设备驱动单元的连接装置,本发明的显示设备模块包括:像素电路部分,该部分包括至少一个光发射区域,其中每一个光发射区域都是在基底上的第一电极与第二电极之间的基底重叠区域上形成的
  • 显示设备模块
  • [发明专利]模块测试设备-CN03811054.7有效
  • 中谷和义 - 株式会社村田制作所
  • 2003-06-10 - 2005-08-10 - G01R31/28
  • 一种布线图电路,包括在模块控制电路和模块之间的一部分布线。由于布线图电路包括PLD,可以根据该模块控制电路和该模块的规格可变地配置其布线。因此,有利于模块控制电路的构造。另外,由于不必为多个不同模块中的每一个的测试单独提供印刷布线图,因此可以降低测试期间涉及的测试周期、人工以及成本。
  • 模块测试设备
  • [实用新型]设备模块和组合设备-CN202021658950.0有效
  • 李秀龙 - 东土科技(宜昌)有限公司
  • 2020-08-11 - 2021-03-05 - G05B19/04
  • 本实用新型涉及一种第一设备模块,包括:第一模块主体;位于所述第一模块主体内的滑动件,所述滑动件能够沿着引导件滑动,所述滑动件上设置有第一接合件,所述第一接合件构造成当所述滑动件沿着所述引导件滑动到指定位置时与第二设备模块的第二接合件接合以使得所述第二设备模块固定在所述第一设备模块上还涉及一种第二设备模块,包括第二模块主体;以及设置在所述第二模块主体外部的第二接合件,所述第二接合件能够与设置在第一设备模块的第一接合件接合使得所述第二设备模块与所述第一设备模块连接。以及一种组合设备,包括第一设备模块和第二设备模块
  • 设备模块组合

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