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- [发明专利]电子部件的制造方法-CN200980146737.1有效
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齐藤岳史;高津知道
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电气化学工业株式会社
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2009-11-11
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2011-10-12
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H01L21/301
- 本发明的目的为通过预先降低紫外线固化型粘合剂的粘合力并同时提高凝集力的方式来抑制在切割后对带有粘合剂半固化层的芯片进行拾取时发生的拾取不良。本发明提供一种带有粘合剂半固化层的半导体晶圆的切割方法,该方法包括:粘合剂半固化层形成工序,在半导体晶圆的背面涂布膏状粘合剂并且对该膏状粘合剂进行加热或利用紫外线照射,使得膏状粘合剂半固化为片状,从而形成粘合剂半固化层;贴合工序,将在基膜上层叠紫外线固化型粘合剂后所得的粘合片贴合于上述粘合剂半固化层上;紫外线照射工序,对上述紫外线固化型粘合剂进行紫外线照射;以及切割工序,对贴合在上述粘合片上的上述粘合剂半固化层和上述半导体晶圆进行切割
- 电子部件制造方法
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