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[发明专利]四室卧式连续真空感应熔铸炉-CN201610482312.X在审
发明人：申耀辉;张一鵬 -专利权人：沈阳保捷真空科技有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： C22B9/04 文献下载
摘要：本发明涉及四室卧式连续真空感应熔铸炉包括真空熔炼室、真空模具加热室、真空模具冷却室，真空加料和测温取样室四个主要的腔室，所述真空模具加热室与真空模具冷却室，分别设置于真空熔炼室的左右两侧，并通过阀门水平相连通，并形成顺序的连续式布局；所述真空加料室设在真空熔炼室上方，通过阀门垂直相连通；所述坩埚设于真空熔炼室内部，所述模具设于模具冷却室内模具传动机构上，所述模具传动机构设于真空熔炼室与真空模具冷却室底部。本发明的优点为不破坏真空熔炼室的真空环境下加料，不破坏真空熔炼室的真空环境下测温和取样等操作，浇注后在不破坏真空熔炼室的真空环境的情况下，将模具转移到模具冷却室进行惰性气体快速冷却或自然冷却。
卧式连续真空感应熔铸

[发明专利]真空灌胶机-CN201611191291.2在审
发明人：陈伟伟 -专利权人：南通新江海动力电子有限公司
申请日： 2016-12-21 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种真空灌胶机，包括真空灌胶室，所述真空灌胶室的进料侧设置有预真空室、所述真空灌胶室的出料侧设置有真空卸货室，所述真空灌胶室与相邻的预真空室以及真空卸货室之间分别设置有内密封门，所述预真空室以及真空卸货室相对于内密封门的一侧分别设置有外密封门根据本申请实施例提供的技术方案，通过在真空灌胶室两侧设置预真空室与真空卸货室，并使用密封门将三个真空室隔开，可保证灌胶室在生产过程中始终保持真空，从而实现连续生产，提高生产效率。
真空灌胶机

[实用新型]一种四腔室真空感应熔炼系统-CN201921055457.7有效
发明人：吉红旗;周济;李延伟 -专利权人：陕西宝德赛肯光电材料有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： F27B14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开的一种四腔室真空感应熔炼系统，四腔室包括下料腔室、真空熔炼腔室、真空溜槽过滤室和真空锭模室，四腔室分别连接真空泵机组；下料腔室一侧设有真空插板阀A，真空插板阀A连接真空熔炼腔室，真空熔炼腔室一侧设有真空插板阀B，真空插板阀B连接真空溜槽过滤室，真空溜槽过滤室一侧设有真空插板阀C，真空插板阀C连接真空锭模室。本实用新型一种四腔室真空感应熔炼系统解决了现有技术中存在结构复杂，故障率高，加料方式单一，不能在线除渣的问题。
一种四腔室真空感应熔炼系统

[发明专利]一种无间歇真空封罐机及其封罐方法-CN201811327422.4在审
发明人：邱文信 -专利权人：广州市方圆机械设备有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： B65B31/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种无间歇真空封罐机及其封罐方法，包括依次连接的进罐抽真空室、一直保持真空状态的工作真空室、出罐抽真空室以及运输罐子通过进罐抽真空室、工作真空室和出罐抽真空室的输送机构，工作真空室内设有封盖机构此无间歇真空封罐机通过进罐抽真空室送入罐子和出罐抽真空室送出罐子，进罐抽真空室和出罐抽真空室抽真空后再与工作真空室连通，从而使工作真空室与外界隔绝，工作真空室可一直保持真空状态，不间断地对罐子进行封罐操作而不需要抽真空
抽真空室工作真空罐子封罐机出罐进罐间歇真空封罐真空状态抽真空封盖机构生产效率输送机构外界隔绝依次连接送出连通送入室内运输

[实用新型]一种无间歇真空封罐机-CN201821842101.3有效
发明人：邱文信 -专利权人：广州市方圆机械设备有限公司
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： B65B31/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无间歇真空封罐机，包括依次连接的进罐抽真空室、一直保持真空状态的工作真空室、出罐抽真空室以及运输罐子通过进罐抽真空室、工作真空室和出罐抽真空室的输送机构，工作真空室内设有封盖机构。此无间歇真空封罐机通过进罐抽真空室送入罐子和出罐抽真空室送出罐子，进罐抽真空室和出罐抽真空室抽真空后再与工作真空室连通，从而使工作真空室与外界隔绝，工作真空室可一直保持真空状态，不间断地对罐子进行封罐操作而不需要抽真空
抽真空室工作真空罐子出罐进罐封罐机间歇真空真空状态抽真空本实用新型封盖机构生产效率输送机构外界隔绝依次连接封罐送出连通送入室内运输

[发明专利]一种具有双真空室的真空灭弧室结构-CN201810645520.6在审
发明人：张毅;冉园园;高春晖;甘巍 -专利权人：中国振华电子集团宇光电工有限公司（国营第七七一厂）
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01H33/664 文献下载
摘要：本发明公开了一种双真空室真空灭弧室，包括外真空室（1）和内真空室（2），内真空室（2）设在外真空室（1）中；还包括静端件（3）和的动端件（4），静端件（3）由下至上依次穿过外真空室（1）和内真空室（2），动端件（4）由上至下依次穿过外真空室（1）和内真空室（2）。本发明具有两个真空室的灭弧室，可降低出现漏气时或低真空问题的概率，提高产品的可靠性，避免真空灭弧室的开断能力受影响，大幅提高了真空灭弧室的使用寿命。
真空室真空灭弧室外真空室双真空室动端静端穿过使用寿命低真空灭弧室漏气开断概率

[发明专利]一种阻氚涂层中氢扩散渗透性能测定装置-CN201611186849.8有效
发明人：刘洋;冯勇进;王晓宇;冯开明 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2016-12-20 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G01N15/08 文献下载
摘要：一种阻氚涂层中氢扩散渗透性能测定装置，包括样品室，该样品室包括外真空室和内真空室，样品室与水冷机连接，水冷机用于为样品室降温，样品室的内真空室通过阀门分别与内真空室分子泵和内真空室机械泵连通，该内真空室分子泵和内真空室机械泵用于内真空室的抽真空，样品室的外真空室通过四极质谱仪分别与外真空室分子泵和外真空室机械泵连通，该外真空室分子泵和外真空室机械泵用于外真空室的抽真空，四极质谱仪还分别与工控机和离子泵连通，样品室通过标准漏孔与进气室连通。
一种涂层扩散渗透性能测定装置

[发明专利]活塞电子束焊接抽真空方法-CN201110244806.1无效
发明人：董建林;张友明;杨敏;史伟荣 -专利权人：桐乡市易锋机械厂
申请日： 2011-08-25 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本发明所设计的一种活塞电子束焊接抽真空方法，在真空室侧边设有真空箱，真空箱与真空室之间设有密封门，真空箱上设有第二真空泵；在开机首次焊接时，活塞夹具进入真空室后，真空室密封，密封门关闭，利用第一真空泵对真空室进行抽真空，再对活塞进行焊接，在此同时，第二真空泵对真空箱进行抽真空，等活塞焊接完成，更换活塞后，活塞夹具再次进入真空室后，真空室密封，此时打开密封门，使真空室与真空箱连通，且由于此前真空箱处于真空状态，同时真空箱体积为真空室体积的若干倍，所以两者都接近真空状态，再关闭密封门，再使用第一真空泵对真空室抽真空，使真空室快速进入真空状态后对活塞进行焊接，此后重复循环工作。
活塞电子束焊接真空方法

[发明专利]真空处理装置及其运转方法-CN201410044844.6有效
发明人：矶村僚一;工藤丰;下村隆浩 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-02-07 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种真空处理装置及其运转方法，在经真空搬运中间室而连结了多个真空搬运室的真空处理装置中，使工作效率提高。为此，该真空处理装置具有经真空搬运中间室而连结的多个真空搬运室以及与该真空搬运室分别连结的多个真空处理容器，在该真空处理装置的运转方法中，经真空搬运中间室使多个真空搬运室连通，向多个真空搬运室之中的与锁止室连结的真空搬运室供给吹扫气体，对远离锁止室的真空搬运室的搬运室内进行减压排气，使多个真空搬运室的所有的搬运室内压力高于真空处理容器的容器内压力。
真空处理装置及其运转方法

[发明专利]太阳能集热管连续自动溅射镀膜方法及装置-CN200710118524.0无效
发明人：殷志强;李云松;吕振华;李云程;秦克强 -专利权人：殷志强;李云程;吕振华;李云松
申请日： 2007-07-09 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种太阳能集热管连续自动溅射镀膜方法及装置，包括设置预真空室和末端真空室，在预真空室和末端真空室之间设置可以相对封闭不接触大气的溅射真空室，通过可变轨迹的传送轨道将各真空室相连接；当工件车进入预真空室后，对预真空室抽真空，使其真空度达到与溅射真空室的真空度相同；在相同的真空度下，工件车由预真空室进入溅射真空室，并对太阳能集热管的表面进行太阳能选择性吸收涂层的溅射沉积；完成全部溅射作业后，工件车进入与溅射室具有相近真空度的末端真空室；关闭溅射真空室后，使所述末端真空室达到常压状态，工件车移至末端真空室外部。本发明大大减少了因溅射室暴露大气污染溅射环境，提高了生产效率，提高了作业效率及镀膜质量。
太阳能热管连续自动溅射镀膜方法装置

[发明专利]离子剥离膜的换膜机构-CN202211486573.0在审
发明人：胡钦勇;申辉玲;朱新龙;何学海;方涛 -专利权人：兰州科近泰基新技术有限责任公司;武汉经济技术开发区（汉南区）人民医院
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： A61N5/10 文献下载
摘要：本公开提供了一种离子剥离膜的换膜机构，包括：升降传动组件，至少包括真空换膜室、真空存膜室、升降传动动力组件；真空存膜室设于真空换膜室下方；升降传动动力组件设于真空存膜室下方，连接设于真空存膜室内的存放碳膜的撑膜板，用于在真空换膜室和真空存膜室之间传送碳膜；伸缩传动组件，至少包括导向真空室、伸缩传动动力组件和后端导向真空室；导向真空室与真空换膜室垂直连通；伸缩传动动力组件设于导向真空室和后端导向真空室之间，用于在后端导向真空室、导向真空室和真空换膜室之间传动碳膜。
离子剥离机构

[实用新型]一种防湍流真空室及真空系统-CN202123446683.8有效
发明人：缪同群;谢圣鸣 -专利权人：上海新产业光电技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本说明书实施例提供一种防湍流真空室及真空系统，真空室包括：真空室腔体，设置于真空室腔体上的至少两个抽气口，抽气口用于对真空室腔体内部抽真空，以使得真空室腔体在抽真空时，真空室腔体内的各处压强同时降低。通过在真空室腔体上增设至少两个抽气口，通过至少两个抽气口对真空室腔体内同时进行抽真空，使得真空室腔体内的各处压强同时降低，能够减小真空室腔体内部的压强梯度，降低气体的流动速度，避免湍流的产生。
一种湍流真空系统

[实用新型]一种具有双真空室的真空灭弧室结构-CN201820960255.6有效
发明人：张毅;冉园园;高春晖;甘巍 -专利权人：中国振华电子集团宇光电工有限公司（国营第七七一厂）
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01H33/664 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有双真空室的真空灭弧室结构，包括包括外真空室（1）和内真空室（2），内真空室（2）设在外真空室（1）中；还包括静端件（3）和的动端件（4），静端件（3）由下至上依次穿过外真空室（1）和内真空室（2），动端件（4）由上至下依次穿过外真空室（1）和内真空室（2）。本实用新型具有两个真空室的灭弧室，可降低出现漏气时或低真空问题的概率，提高产品的可靠性，避免真空灭弧室的开断能力受影响，大幅提高了真空灭弧室的使用寿命。
真空室真空灭弧室外真空室本实用新型双真空室动端静端穿过使用寿命低真空灭弧室漏气开断概率

[实用新型]多室连续真空镀膜装置-CN200920056199.4无效
发明人：钟肇兰 -专利权人：钟肇兰
申请日： 2009-05-11 - 公布日： 2010-05-05 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种多室连续真空镀膜装置，包括有依次串联、由6台阀门隔开的以下的、进片真空室2-前缓冲真空室4-前过渡真空室6-镀膜真空室8-后过渡真空室9-后缓冲真空室11-出片真空室13；在镀膜真空室8里，装设有若干条的靶条7；各真空室连接有真空发生装置，包括连接在进、出片真空室的前、后初级抽真空系统16、22、连接在前、后缓冲真空室的前、后缓冲深度排气系统17，21，连接在前、后过渡真空室的前、后深度排气系统18和20，和连接在镀膜真空室的镀膜深度排气系统19。本实用新型装置真空度平稳、不波动，镀膜质量好，缩短了在进、出片室的排气时间，提高生产效率，真空室的配置合理、效率高。适用于各种连续生产的真空镀膜装置。
连续真空镀膜装置

[发明专利]真空室、用于制造真空室的方法和用于重制真空室的方法-CN201910074539.4在审
发明人：安德烈亚斯·穆勒;迈克尔·韦斯特里希;埃里克·安索奇 -专利权人：梅耶博格（德国）有限责任公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： F16B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空室、用于制造真空室的方法和用于重制真空室的方法。真空室或真空室的一部分具有多个构成真空室的部件，特别是室壁和连接法兰。本发明所要解决的技术问题是示出一种能低成本制造的真空室和一种制造真空室的方法。该技术问题通过一种真空室解决，该真空室具有连接真空室的至少两个部件的粘合部。
真空室制造连接法兰低成本粘合部室壁