专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]静电吸盘及处理装置-CN202010142829.0在审
  • 白石纯;西愿修一郎;森达哉;佐佐木雄基;渡边仁弘 - TOTO株式会社
  • 2020-03-04 - 2020-09-15 - H01L21/683
  • 本发明的静电吸盘具备:陶瓷电介体基板,具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面;基座板,具有气体导入路;及第1多孔质部,与所述气体导入路相对,所述第1多孔质部包含第1多孔区域、比所述第1多孔区域更致密的第1致密区域,所述第1多孔区域具有:多个第1疏松部分;及第1紧密部分,具有比所述第1疏松部分的密度更高的密度,所述多个第1疏松部分在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的方向上延伸,所述第1紧密部分位于所述多个第1疏松部分的彼此之间,所述第1疏松部分具有第1壁部,在与所述第1方向大致正交的第2方向上,所述第1壁部的尺寸的最小值小于所述第1紧密部分的尺寸的最小值,所述气体导入路的至少一部分由曲线形成。
  • 静电吸盘处理装置
  • [发明专利]多孔陶瓷及其制造方法-CN202111677080.0在审
  • 詹海林;陈小硕 - 安徽晶梦新材料技术有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-04-19 - F28D15/04
  • 一种多孔陶瓷,包括疏松层与致密层,所述疏松层表面为渗液面,所述致密层表面为雾化面,所述疏松层内形成有若干在垂直方向上延伸的指状孔,所述指状孔的孔径在靠近所述渗液面一侧变小,所述指状孔向下不贯穿所述致密层,所述疏松层与致密层内部还形成有若干毛细孔,所述毛细孔的孔径小于所述指状孔的孔径,所述毛细孔相互连通且连通若干所述指状孔,所述疏松层的厚度大于所述致密层的厚度,雾化液自所述渗液面渗入所述多孔陶瓷内。本申请还包括多孔陶瓷的制造方法。
  • 多孔陶瓷及其制造方法
  • [发明专利]静电吸盘-CN202310336113.8在审
  • 山口康介;白石纯;板仓郁夫;籾山大;西愿修一郎 - TOTO株式会社
  • 2019-02-28 - 2023-06-23 - H01L21/683
  • 本发明的目的在于提供一种静电吸盘,在设置有多孔质部的静电吸盘中,能够确保对电弧放电的抗性及流动的气体流量,同时能够提高多孔质部的机械强度(刚性)。提供一种静电吸盘,其特征为,第1多孔质部具有:疏松部分,具有多个孔;及紧密部分,具有比疏松部分的密度更高的密度,多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸,紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间,疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部,在与第1方向大致正交的第2方向上,壁部的尺寸的最小值比紧密部分的尺寸的最小值更小。
  • 静电吸盘
  • [发明专利]一种多层复合吸声结构-CN202010035658.1在审
  • 何欢;何晋丞;朱江;肖君;王杰;邵瀚波;吴新海 - 南京航空航天大学
  • 2020-01-14 - 2020-05-26 - G10K11/168
  • 本发明公开了一种多层复合吸声结构,属于降噪减振技术领域,本发明的多层复合吸声结构包括刚性壁,刚性壁上方设置有若干组支架,所述的若干组支架的侧壁相同位置设置支架凸台,在支架凸台上方设置微米级多孔疏松材料;所述的若干组支架的顶端设置毫米级微穿孔板,即微米级多孔疏松材料覆盖于毫米级微穿孔板上方,且所述的微米级多孔疏松材料、毫米级微穿孔板之间形成空腔;本发明中通过毫米级微穿孔板覆盖于毫米级微穿孔板的上方,其中微米级多孔疏松材料
  • 一种多层复合吸声结构
  • [发明专利]静电吸盘-CN202010142868.0在审
  • 糸山哲朗;上藤淳平 - TOTO株式会社
  • 2020-03-04 - 2020-09-15 - H01L21/683
  • 本发明提供一种静电吸盘,即使在将多孔质部设置于气体导入路内的构造中,对吸附对象物也能够进行晶片温度均等性较高的温度控制。具体而言,具备:陶瓷电介体基板,具有第1主面、第2主面、穿通孔;基座板,支撑陶瓷电介体基板,具有连通于穿通孔的气体导入路;及多孔质部,设置于气体导入路,其特征为,多孔质部具有:多个疏松部分,具有多个孔;及紧密部分,具有比疏松部分的密度更高的密度,多个疏松部分分别在从基座板朝向陶瓷电介体基板的第1方向上延伸,紧密部分位于多个疏松部分的彼此之间,疏松部分具有设置在孔与孔之间的壁部,在与第1方向大致正交的第
  • 静电吸盘
  • [实用新型]多孔陶瓷-CN202123427821.8有效
  • 詹海林;陈小硕 - 安徽晶梦新材料技术有限公司
  • 2021-12-31 - 2022-08-23 - F28D15/04
  • 一种多孔陶瓷,包括疏松层与致密层,所述疏松层表面为渗液面,所述致密层表面为雾化面,所述疏松层内形成有若干在垂直方向上延伸的指状孔,所述指状孔的孔径在靠近所述渗液面一侧变小,所述指状孔向下不贯穿所述致密层,所述疏松层与致密层内部还形成有若干毛细孔,所述毛细孔的孔径小于所述指状孔的孔径,所述毛细孔相互连通且连通若干所述指状孔,所述疏松层的厚度大于所述致密层的厚度,雾化液自所述渗液面渗入所述多孔陶瓷内。
  • 多孔陶瓷

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