专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]沟槽隔离结构的形成方法-CN201310129640.8有效
  • 杨芸 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2013-04-15 - 2017-06-09 - H01L21/762
  • 本发明提出一种沟槽隔离结构的形成方法,形成第二沟槽隔离沟道后保留光阻层,借着光阻层对第一沟槽隔离沟道的遮挡继续进行第一次回拉刻蚀,暴露出第二沟槽隔离沟道边角的介质层,之后去除光阻层,再对半导体衬底进行第二次回拉刻蚀,暴露出第一沟槽隔离沟道以及第二沟槽隔离沟道边角的介质层,这样便能平衡第一沟槽隔离沟道以及第二沟槽隔离沟道的回拉刻蚀程度,使第二沟槽隔离沟道边角的介质层暴露更多并且变的更加圆滑,使后续形成在边角处的栅极氧化层可长得更厚,提高了击穿电压;同时保证第一沟槽隔离沟道的边角暴露的不会过多,防止在后续形成隧穿氧化层的时候消耗过多边角处的半导体衬底而降低了有效区域的面积。
  • 沟槽隔离结构形成方法
  • [实用新型]一种圆仓低温储粮系统-CN202221180307.0有效
  • 王广波;辛培防;付玉鹏 - 河南金明自动化设备有限公司
  • 2022-05-17 - 2022-09-20 - A01F25/14
  • 本实用新型提供一种圆仓低温储粮系统,包括圆仓本体和多个用于对圆仓本体进行控温处理的控温机构;多个控温机构均分别包括设置在圆仓本体上的仓壁通风道系统和设置在圆仓本体上的圆仓控温系统;仓壁通风道系统包括两个分别设置在圆仓本体底部周围的墙壁上主风道、多个进风支风道、回风支风道、分别与两个回风支风道相连接的回风集管和设置在两个回风集管上端之间的三通;所述圆仓控温系统包括圆仓控温专用机组和控制系统。通过本实用新型所述的圆仓低温储粮系统,不仅能够满足对粮面及粮堆周围空间及粮面上层空间进行控温的要求,而且还能达到节能降耗的目的,满足绿色低温储粮的需求。
  • 一种浅圆仓低温系统
  • [发明专利]沟槽隔离结构、半导体结构及其制备方法-CN201710867399.7在审
  • 周颖;吴宗祐;林宗贤 - 德淮半导体有限公司
  • 2017-09-22 - 2018-02-16 - H01L21/02
  • 本发明提供一种沟槽隔离结构、半导体结构及其制备方法,所述沟槽隔离结构的制备方法包括如下步骤1)提供半导体衬底;2)于所述半导体衬底内形成沟槽;3)于所述沟槽内形成覆盖所述沟槽侧壁及底部的沟槽隔离衬垫,所述沟槽隔离衬垫包括覆盖所述沟槽侧壁及底部的第一氧化硅层及覆盖所述第一氧化硅层表面的氮掺杂氧化硅层;4)于所述沟槽隔离衬垫表面填充隔离材料,以形成沟槽隔离结构,所述隔离材料填满所述沟槽。本发明通过形成包括氮掺杂氧化硅层的沟槽隔离衬垫,相较于现有技术,在形成相同厚度的沟槽隔离衬垫的前提下,对有源区的消耗比较小,从而减小对器件性能的不良影响。
  • 沟槽隔离结构半导体及其制备方法
  • [发明专利]沟槽隔离的制造方法-CN202110226518.7在审
  • 许进;陈敏杰;唐在峰;任昱 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2021-03-01 - 2022-09-02 - H01L21/762
  • 本发明公开了一种沟槽隔离的制造方法,包括:步骤一、采用干法刻蚀工艺对沟槽形成区域中的半导体衬底进行第一次刻蚀形成沟槽;第一次刻蚀中干法刻蚀工艺腔会析出金属离子并沉积沟槽的内侧表面上以及金属离子会扩散并形成污染层;步骤二、采用湿法刻蚀工艺对沟槽内侧表面暴露的半导体衬底进行第二次刻蚀以去除沟槽的内侧表面处污染层。本发明能去除沟槽的干刻刻蚀中干法刻蚀工艺腔析出并沉积在沟槽内侧表面上的金属离子,从而能避免金属离子对产品特别是CMOS图像传感器的良率的影响。
  • 沟槽隔离制造方法

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